• 연구실 : 서관 202호
• 연구실 전화 : 2389
• E-mail : changkoo@ajou.ac.kr
• 연구관심분야 :
• 홈페이지 : http://splab.ajou.ac.kr

• 2000.12 University of Houston 박사
• 1995.08 서울대학교 석사
• 1992.02 서울대학교 학사

2001.01 - 2002.02 Novellus Systems, Inc. (San Jose, California)

Plasma processing
Electrochemisty
Energy storage devices

1. [논문] 저자 김창구, 김준현, 박정근, 조성운, 제목Fabrication of uniformly arrayed single- and multi-directional slanted Cu nanorods 저널 , ECS SOLID STATE LETTERS 볼륨 , Vol.4 번호 , No.11 페이지 , pp.P85 -P87 (Nov, 2015)
2. [논문] 저자 김창구, 강두원, 김상욱, 이혜민, 정경화, 제목Direct and environmentally benign synthesis of manganese oxide/graphene composites from graphite for electrochemical capacitors 저널 , JOURNAL OF POWER SOURCES 볼륨 , Vol.281 번호 페이지 , pp.44 -48 (May, 2015)
3. [논문] 저자 김창구, 권범진, 송찬주, 강흥중, 이혜민, 조성운, 제목Abrupt change with surfactant concentration in the surface morphology of the electrodeposited manganese oxide films for electrochemical capacitors 저널 , ELECTROCHIMICA ACTA 볼륨 , Vol.160 번호 페이지 , pp.50 -56 (Apr, 2015)
4. [논문] 저자 김상욱, 정경화, 강지구, 이혜민, 이재혁, 김재호, 김창구, 이희웅, 제목ZrO2-SiO2 nanosheets with ultrasmall WO3 nanoparticles and their enhanced pseudocapacitance and stability 저널 , ACS APPLIED MATERIALS & INTERFACES 볼륨 , Vol.6 번호 , No.22 페이지 , pp.20171 -20178 (Nov, 2014)
5. [논문] 저자 김상욱, 이혜민, 정경화, Yuanzhe Piao, 이희웅, 이재혁, 김재호, 김창구, 제목One-pot synthesis of thin Co(OH)2 nanosheets on graphene and their high activity as a capacitor electrode 저널 , RSC ADVANCES 볼륨 , Vol.4 번호 페이지 , pp.51619 -51623 (Oct, 2014)

1. [논문] 저자 김창구, 김서은, 김용재, 강호진, 유상현, 채희엽, 제목Low Global Warming C4H3F7O Isomers for Plasma Etching of SiO2 and Si3N4 Films 저널 , ACS SUSTAINABLE CHEMISTRY & ENGINEERING 볼륨 번호 페이지 , pp.10537 -10546 (Aug, 2022)
2. [논문] 저자 장용우, 강주섭, 안동근, 김창구, 복준수, 제목Human trial for the effect of plasma-activated water spray on vaginal cleaning in patients with bacterial vaginosis 저널 , medical sciences 볼륨 번호 페이지 , pp.331 -339 (Jun, 2022)
3. [논문] 저자 김창구, 이유종, 채희엽, 유상현, 제목Plasma Etching of SiO2 Contact Holes Using Hexafluoroisopropanol and C4F8 저널 , COATINGS 볼륨 번호 페이지 , pp.6791 -6798 (May, 2022)
4. [논문] 저자 김창구, 김준현, 유상현, 제목Plasma etching of SiO2 contact hole using perfluoropropyl vinyl ether and perfluoroisopropyl vinyl ether 저널 , KOREAN JOURNAL OF CHEMICAL ENGINEERING = KOREAN JOURNAL OF CHEMICAL ENGINEERING 볼륨 번호 페이지 , pp.63 -68 (Jan, 2022)
5. [논문] 저자 김창구, 유상현, 김준현, 제목Surface Texturing of Si with Periodically Arrayed Oblique Nanopillars to Achieve Antireflection 저널 , MATERIALS 볼륨 번호 페이지 , pp.3801 -3809 (Jan, 2021)
6. [논문] 저자 김창구, 박진수, 김준현, 제목SiO2 etching in inductively coupled plasmas using heptafluoroisopropyl methyl ether and 1,1,2,2-tetrafluoroethyl 2,2,2-trifluoroethyl ether 저널 , APPLIED SURFACE SCIENCE 볼륨 번호 페이지 , pp.144787-1 -144787-8 (Apr, 2020)
7. [논문] 저자 김창구, 박정근, 김준현, 제목Electrical resistivity of Ni–Fe wires coated with Sn using low-pressure chemical vapor deposition 저널 , COATINGS 볼륨 번호 페이지 , pp.317-1 -317-9 (Mar, 2020)
8. [논문] 저자 김창구, 김준현, 제목Si3N4 etch rates at various ion-incidence angles in high-density CF4, CHF3, and C2F6 plasmas 저널 , KOREAN JOURNAL OF CHEMICAL ENGINEERING = KOREAN JOURNAL OF CHEMICAL ENGINEERING 볼륨 번호 페이지 , pp.374 -379 (Feb, 2020)
9. [논문] 저자 김창구, 박진수, 신용선, 김준현, 제목Atmospheric-pressure floating electrode-dielectric barrier discharge with flexible electrodes: Effect of conductor shapes 저널 , KOREAN JOURNAL OF CHEMICAL ENGINEERING = KOREAN JOURNAL OF CHEMICAL ENGINEERING 볼륨 번호 페이지 , pp.1371 -1376 (Aug, 2019)
10. [논문] 저자 김창구, 김지현, 김수현, 박진수, 김준현, 제목Auto-masked surface texturing of kerf-loss free silicon wafers using hexafluoroisopropanol in a capacitively coupled plasma etching system 저널 , ECS JOURNAL OF SOLID STATE SCIENCE AND TECHNOLOGY 볼륨 , Vol.8 번호 , No.4 페이지 , pp.Q76 -Q79 (May, 2019)
11. [논문] 저자 김창구, 박진수, 김준현, 제목Angular dependence of SiO2 etching in plasmas containing heptafluoropropyl methyl ether. 저널 , THIN SOLID FILMS 볼륨 , Vol.669 번호 페이지 , pp.262 -268 (Jan, 2019)
12. [논문] 저자 김창구, 박진수, 김준현, 제목Plasma etching of SiO2 using heptafluoropropyl methyl ether and perfluoropropyl vinyl ether 저널 , ECS JOURNAL OF SOLID STATE SCIENCE AND TECHNOLOGY 볼륨 , Vol.7 번호 , No.11 페이지 , pp.Q218 -Q221 (Nov, 2018)
13. [논문] 저자 김창구, 이혜민, 이혜민, 윤현식, Gaoxiang Wu, Shu Yang, 권도경, 김준현, 김재경, 제목Clustering and self-recovery of slanted hydrogel micropillars 저널 , ADVANCED MATERIALS INTERFACES 볼륨 번호 페이지 , pp.1801141 -1801147 (Oct, 2018)
14. [논문] 저자 김창구, 김수현, 김지현, 김준현, 제목Reducing the optical reflectance of kerf-loss free silicon wafers via auto-masked CF4/O2 plasma etch 저널 , ECS JOURNAL OF SOLID STATE SCIENCE AND TECHNOLOGY 볼륨 , Vol.7 번호 , No.5 페이지 , pp.88 -91 (May, 2018)
15. [논문] 저자 김지현, 김창구, 오수연, 제목High responsivity β-Ga2O3 metal-semiconductor-metal solar-blind photodetectors with ultra-violet transparent graphene electrodes 저널 , ACS PHOTONICS 볼륨 번호 페이지 , pp.1123 -1128 (Mar, 2018)
16. [논문] 저자 김창구, 박정근, 이강택, 김준현, 제목Control of the electrical resistivity of Ni-Cr wires using low pressure chemical vapor deposition of tin 저널 , APPLIED SURFACE SCIENCE 볼륨 , Vol.429 번호 페이지 , pp.134 -137 (Jan, 2018)
17. [논문] 저자 채희엽, 김용재, 김창구, 고경범, 제목Quasi Atomic Layer Etching of SiO2 using Surface Fluorination for Surface Cleaning 저널 , JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A 볼륨 번호 페이지 , pp.01B106-1 -01B106-5 (Jan, 2018)
18. [논문] 저자 김창구, 조성운, 김준현, 제목Angular dependence of Si3N4 etching in C4F6/CH2F2/O2/Ar plasmas 저널 , CHEMICAL ENGINEERING & TECHNOLOGY 볼륨 , Vol.40 번호 , No.12 페이지 , pp.2251 -2256 (Dec, 2017)
19. [논문] 저자 김창구, 채희엽, 박창진, 김준현, 조성운, 제목Angular dependences of SiO2 etch rates at different bias voltages in CF4, C2F6, and C4F8 plasmas 저널 , THIN SOLID FILMS 볼륨 번호 페이지 , pp.43 -48 (Sep, 2017)
20. [논문] 저자 김창구, 김상욱, 정경화, 이혜민, 제목Low-temperature direct synthesis of mesoporous vanadium nitrides for electrochemical capacitors 저널 , APPLIED SURFACE SCIENCE 볼륨 번호 페이지 , pp.194 -199 (Apr, 2017)
21. [논문] 저자 김창구, 채희엽, 이혼영, 장해규, 이학승, 제목Sensitivity enhancement of dielectric plasma etching endpoint detection by optical emission spectra with modified K-means cluster analysis 저널 , IEEE TRANSACTIONS ON SEMICONDUCTOR MANUFACTURING 볼륨 , Vol.30 번호 , No.1 페이지 , pp.17 -22 (Feb, 2017)
22. [논문] 저자 김창구, 채희엽, 이혜민, 조성운, 김준현, 제목Superhydrophobic Si surfaces having microscale rod structures prepared in a plasma etching system 저널 , SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY 볼륨 번호 페이지 , pp.82 -86 (Nov, 2016)
23. [논문] 저자 김창구, 이경미, 강두원, 김준현, 이혜민, 제목Effect of oxygen flow rate on the electrical and optical characteristics of dopantless tin oxide films fabricated by LPCVD 저널 , KOREAN JOURNAL OF CHEMICAL ENGINEERING 볼륨 , Vol.33 번호 , No.9 페이지 , pp.2711 -2715 (Sep, 2016)
24. [논문] 저자 김창구, 박정근, 김준현, 조성운, 이혜민, 제목Fabrication of Slanted Cu Nanopillars with Uniform Arrays 저널 , NANOMATERIALS AND NANOTECHNOLOGY 볼륨 , Vol.6 번호 페이지 , pp.1 -5 (Mar, 2016)
25. [논문] 저자 김창구, 조성운, 백창용, 강두원, 이경미, 김준현, 이혜민, 제목Electrical, structural, and morphological characteristics of dopantless tin oxide films prepared by low pressure chemical vapor deposition 저널 , SCIENCE OF ADVANCED MATERIALS 볼륨 , Vol.8 번호 , No.1 페이지 , pp.117 -121 (Jan, 2016)
26. [논문] 저자 김창구, 강태경, 엄기주, 이강택, 이도창, 박진모, 장호찬, 제목Minimizing the fluorescence quenching caused by uncontrolled aggregation of CdSe/CdS core/shell quantum dots for biosensor applications 저널 , SENSORS AND ACTUATORS B-CHEMICAL 볼륨 , Vol.222 번호 페이지 , pp.871 -878 (Jan, 2016)
27. [논문] 저자 김창구, 김준현, 박정근, 조성운, 제목Fabrication of uniformly arrayed single- and multi-directional slanted Cu nanorods 저널 , ECS SOLID STATE LETTERS 볼륨 , Vol.4 번호 , No.11 페이지 , pp.P85 -P87 (Nov, 2015)
28. [논문] 저자 김창구, Thanh-Truc Pham, Chinh Nguyen-Huy, 손태환, Thuy-Duong Nguyen-Phan, 신은우, 이현준, 제목Cu-doped TiO2/reduced graphene oxide thin-film photocatalysts: Effect of Cu content upon methylene blue removal in water 저널 , CERAMICS INTERNATIONAL 볼륨 , Vol.41 번호 , No.9 페이지 , pp.11184 -11193 (Nov, 2015)
29. [논문] 저자 김창구, 김상인, 신은우, 조성운, 김준현, 제목Reduction in the diameter of contact holes with a high anisotropy and aspect ratio 저널 , ECS JOURNAL OF SOLID STATE SCIENCE AND TECHNOLOGY 볼륨 , Vol.4 번호 , No.7 페이지 , pp.P226 -P231 (Jul, 2015)
30. [논문] 저자 김창구, 신은우, Chinh Nguyen Huy, Thuy-Duong Nguyen-Phan, 제목Facile microwave-assisted synthesis and controllable architecture of three-dimensional nickel titanate 저널 , CRYSTENGCOMM 볼륨 , Vol.17 번호 페이지 , pp.4562 -4574 (Jun, 2015)
31. [논문] 저자 김창구, 강두원, 김상욱, 이혜민, 정경화, 제목Direct and environmentally benign synthesis of manganese oxide/graphene composites from graphite for electrochemical capacitors 저널 , JOURNAL OF POWER SOURCES 볼륨 , Vol.281 번호 페이지 , pp.44 -48 (May, 2015)
32. [논문] 저자 김창구, 권범진, 송찬주, 강흥중, 이혜민, 조성운, 제목Abrupt change with surfactant concentration in the surface morphology of the electrodeposited manganese oxide films for electrochemical capacitors 저널 , ELECTROCHIMICA ACTA 볼륨 , Vol.160 번호 페이지 , pp.50 -56 (Apr, 2015)
33. [논문] 저자 김상인, 김창구, 정창영, 제목Slot-embedded photonic-crystal resonator with enhanced modal confinement 저널 , OPTICS LETTERS 볼륨 , Vol.40 번호 , No.4 페이지 , pp.554 -557 (Feb, 2015)
34. [논문] 저자 김상욱, 정경화, 강지구, 이혜민, 이재혁, 김재호, 김창구, 이희웅, 제목ZrO2-SiO2 nanosheets with ultrasmall WO3 nanoparticles and their enhanced pseudocapacitance and stability 저널 , ACS APPLIED MATERIALS & INTERFACES 볼륨 , Vol.6 번호 , No.22 페이지 , pp.20171 -20178 (Nov, 2014)
35. [논문] 저자 김상욱, 이혜민, 정경화, Yuanzhe Piao, 이희웅, 이재혁, 김재호, 김창구, 제목One-pot synthesis of thin Co(OH)2 nanosheets on graphene and their high activity as a capacitor electrode 저널 , RSC ADVANCES 볼륨 , Vol.4 번호 페이지 , pp.51619 -51623 (Oct, 2014)
36. [논문] 저자 김창구, 이강택, 강두원, 조성운, 김준현, 제목Single- and Multi-Directional Slanted Plasma Etching of Silicon under Practical Plasma Processing Conditions 저널 , ECS JOURNAL OF SOLID STATE SCIENCE AND TECHNOLOGY 볼륨 , Vol.3 번호 , No.11 페이지 , pp.Q215 -Q220 (Sep, 2014)
37. [논문] 저자 김창구, 이강택, 이혜민, 제목Electrodeposition of manganese-nickel oxide films on a graphite sheet for electrochemical capacitor applications 저널 , MATERIALS 볼륨 , Vol.7 번호 , No.1 페이지 , pp.265 -274 (Jan, 2014)
38. [논문] 저자 김창구, 이강택, 이혜민, Rajagopal, 제목Hydrothermal synthesis of one-dimensional tungsten oxide nanostructures using cobalt ammonium sulfate as a structure-directing agent 저널 , KOREAN JOURNAL OF CHEMICAL ENGINEERING 볼륨 , Vol.30 번호 , No.10 페이지 , pp.1833 -1835 (Oct, 2013)
39. [논문] 저자 김창구, 채희엽, 남재욱, 장해규, 제목Real-Time Endpoint Detection of Small Exposed Area SiO2 Films in Plasma Etching Using Plasma Impedance Monitoring with Modified Principal Component Analysis 저널 , PLASMA PROCESSES AND POLYMERS 볼륨 , Vol.10 번호 , No.10 페이지 , pp.850 -856 (Oct, 2013)
40. [논문] 저자 Rajagopal, Robichaud, Khyzhun, Djaoued, 김창구, Nataraj, 제목Controlled synthesis of MoO3 microcrystals by subsequent calcination of hydrothermally grown pyrazine-MoO3 nanorod hybrids and their photodecomposition properties 저널 , MATERIALS CHEMISTRY AND PHYSICS 볼륨 , Vol.141 번호 , No.1 페이지 , pp.383 -392 (Aug, 2013)
41. [논문] 저자 이강택, 윤철상, 홍현국, 황대현, 이도창, 김영주, 김창구, 김현창, 제목High luminescence efficiency white light emitting diodes based on surface functionalized quantum dots dispersed in polymer matrices 저널 , COLLOIDS AND SURFACES A-PHYSICOCHEMICAL AND ENGINEERING ASPECTS 볼륨 , Vol.428 번호 페이지 , pp.86 -91 (Apr, 2013)
42. [논문] 저자 김창구, 채희엽, 이혜민, 제목Electroless deposition of NiMoP films using alkali-free chemicals for capping layers of copper interconnections 저널 , KOREAN JOURNAL OF CHEMICAL ENGINEERING 볼륨 , Vol.29 번호 , No.9 페이지 , pp.1259 -1265 (Sep, 2012)
43. [논문] 저자 김창구, 채희엽, 문상흡, 조성운, 이진관, 제목Angular dependences of SiO2 etch rates in C4F6/O2/Ar and C4F6/CH2F2/O2/Ar plasmas 저널 , JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A 볼륨 번호 페이지 , pp.051301-1 -051301-6 (Jul, 2012)
44. [논문] 저자 김창구, 이강택, S.G.Kandalkar, 이혜민, 서승혜, 제목Preparation and characterization of the electrodeposited Ni-Co oxide thin films for electrochemical capacitors 저널 , KOREAN JOURNAL OF CHEMICAL ENGINEERING 볼륨 , Vol.28 번호 , No.6 페이지 , pp.1464 -1467 (Jun, 2011)
45. [논문] 저자 김창구, 이강택, 서승혜, Kandalkar, 이혜민, 제목Cobalt-nickel composite films synthesized by chemical bath deposition method as an electrode material for supercapacitors 저널 , JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE 볼륨 번호 페이지 , pp.2977 -2981 (May, 2011)
46. [논문] 저자 김창구, Kandalkar, 채희엽, 이혜민, 제목Structural, morphological, and electrical characteristics of the electrodeposited cobalt oxide electrode for supercapacitor applications 저널 , MATERIALS RESEARCH BULLETIN 볼륨 , Vol.46 번호 페이지 , pp.48 -51 (Jan, 2011)
47. [논문] 저자 김창구, 이강택, 손영선, 남궁윤미, 이혜민, 제목Characteristics of electrodeposited CoWP capping layers using alkali-metal-free precursors 저널 , KOREAN JOURNAL OF CHEMICAL ENGINEERING 볼륨 번호 페이지 , pp.1596 -1600 (Sep, 2010)
48. [논문] 저자 이강택, 이기태, 이호섭, Wu Zhijian, 김창구, 이덕규, 제목Comparison of amine-functionalized mesoporous silica particles for ibuprofen delivery 저널 , KOREAN JOURNAL OF CHEMICAL ENGINEERING 볼륨 , Vol.27 번호 , No.4 페이지 , pp.1333 -1337 (Jul, 2010)
49. [논문] 저자 C.D.Lokhande, D.S.Dhawale, 김창구, Kandalkar, 제목Chemical synthesis of cobalt oxide thin film electrode for supercapacitor application 저널 , SYNTHETIC METALS 볼륨 번호 페이지 , pp.1299 -1302 (Jun, 2010)
50. [논문] 저자 이강택, 노민호, 이호섭, 주상우, 김창구, 김태훈, 제목Fluorescence Quenching Caused by Aggregation of Water- Soluble CdSe Quantum Dots 저널 , COLLOIDS AND SURFACES A-PHYSICOCHEMICAL AND ENGINEERING ASPECTS 볼륨 , Vol.359 번호 , No.1-3 페이지 , pp.39 -44 (Apr, 2010)
51. [논문] 저자 문상흡, 이승행, 장일용, 김창구, 이진관, 제목Mechanism of sidewall necking and bowing in the plasma etching of high aspect-ratio contanct holes 저널 , JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY 볼륨 , Vol.157 번호 , No.3 페이지 , pp.D142 -D146 (Jan, 2010)
52. [논문] 저자 김창구, 우상호, 김해원, 엄평용, 지정민, 김일욱, 제목Formation and characterization of thin silicon dioxide films obtained by inductively-coupled high-density plasmas using a dual rotated spiral antenna system 저널 , ECS Transcations 볼륨 , Vol.25 번호 , No.6 페이지 , pp.173 -178 (Oct, 2009)
53. [논문] 저자 문상흡, 장일용, 이승행, 이진관, 김창구, 민재호, 제목Oblique-directional plasma etching of Si using a Faraday cage 저널 , Journal of the Electrochemical Society 볼륨 , Vol.156 번호 , No.7 페이지 , pp.222 -225 (Jul, 2009)
54. [논문] 저자 김창구, Mahapatra, Anthony, 이상민, 이혜민, 제목Effect of titanium ion concentration on electrodeposition of nanostructured TiNi films 저널 , Journal of Materials Science 볼륨 , Vol.44 번호 , No.14 페이지 , pp.3731 -3735 (Jul, 2009)
55. [논문] 저자 김창구, 엄평용, 김일욱, 우상호, 이혜민, 제목Film Properties of Nitrogen-Doped Polycrystalline Silicon for Advanced Gate Material 저널 , Korean Journal of Chemical Engineering 볼륨 , Vol.26 번호 , No.3 페이지 , pp.824 -827 (May, 2009)
56. [논문] 저자 문상흡, 장일용, 이진관, 김창구, 이승행, 제목Cyclic deposition/etching process to etch a bowing-free SiO2 contact hole 저널 , Journal of the Electrochemical Society 볼륨 , Vol.156 번호 , No.8 페이지 , pp.269 -274 (May, 2009)
57. [논문] 저자 김창구, 윤형진, Dulal, 신치범, 제목Electrodeposition of CoWP film V. Structural and morphological characterisations 저널 , Applied Surface Science 볼륨 , Vol.255 번호 , No.11 페이지 , pp.5795 -5801 (Mar, 2009)
58. [논문] 저자 채희엽, 황진하, 정동근, 김창구, 김치정, 제목Argon and nitrogen plasma surface treatments of polyimide films for electroless copper plating 저널 , Journal of the Korean Physical Society 볼륨 , Vol.54 번호 , No.2 페이지 , pp.621 -627 (Feb, 2009)
59. [논문] 저자 김창구, 이형무, 성준용, Dulal, 김태호, 제목Development of an alkali-metal-free bath for electroless deposition of Co-W-P capping layers for copper interconnections 저널 , Journal of Alloys and Compounds 볼륨 , Vol.467 번호 , No.1-2 페이지 , pp.370 -375 (Jan, 2009)
60. [논문] 저자 김창구, 김일욱, 이형무, 이혜민, 채희엽, 남궁윤미, 제목Dependence of Etch Rates of Silicon Substrates on the Use of C4F8 and C4F6 Plasmas in the Deposition Step of the Bosch Process 저널 , Journal of Vacuum Science and Technology B 볼륨 , Vol.27 번호 , No.1 페이지 , pp.33 -40 (Jan, 2009)
61. [논문] 저자 김창구, 윤형진, Dulal, 신치범, 제목Characterisation of electrodeposited Co-W-P amorphous coatings on carbon steel 저널 , Electrochimica Acta 볼륨 , Vol.54 번호 , No.2 페이지 , pp.370 -375 (Dec, 2008)
62. [논문] 저자 김창구, 김태호, Dulal, 신치범, 제목Electrodeposition of CoWP Film IV. Effect of Applied Potential and Current Density 저널 , Journal of Alloys and Compounds 볼륨 , Vol.261 번호 , No.1-2 페이지 , pp.382 -388 (Aug, 2008)
63. [논문] 저자 김창구, 채희엽, Dulal, 김태호, 박창한, 제목Optimisation of Process Parameters for Electroless Plating of Co-W-P Capping Layers from an Alkali-Metal-Free Bath 저널 , Surface and Coatings Technology 볼륨 , Vol.202 번호 , No.19 페이지 , pp.4861 -4867 (Jun, 2008)
64. [논문] 저자 이상민, 김창구, 임한조, s. kumar mahapatra, 이혜민, 이황운, john kiran anthony, 김기홍, 김희철, 제목Particle size-dependent giant nonlinear absorption in nanostructured Ni-Ti alloys 저널 , Optics Express 볼륨 , Vol.16 번호 , No.15 페이지 , pp.11193 -11202 (Jun, 2008)
65. [논문] 저자 김창구, 김일욱, 권혁규, 이형무, 김현정, 유재석, 제목Comparison of Deep Silicon Etching Using SF6/C4F8 and SF6/C4F6 Plasmas in the Bosch Process 저널 , Journal of Vacuum Science and Technology B 볼륨 , Vol.26 번호 , No.2 페이지 , pp.576 -581 (Mar, 2008)
66. [논문] 저자 김창구, S.M.S.I. Dulal, 윤형진, 신치범, 제목Electrodeposition of CoWP Film II. Effect of Electrolyte Concentration 저널 , Journal of Applied Electrochemistry 볼륨 , Vol.38 번호 , No.1 페이지 , pp.83 -91 (Jan, 2008)
67. [논문] 저자 김창구, S.M.S.I.Dulal, 윤형진, 신치범, 제목Electrodeposition of CoWP Film III. Effect of pH and Temperature 저널 , Electrochimica Acta 볼륨 , Vol.53 번호 , No.2 페이지 , pp.934 -943 (Dec, 2007)
68. [논문] 저자 김창구, S.M.S.I.DULAL, 윤형진, 신치범, 제목Electrodeposition of CoWP Film 저널 , Journal of the Electrochemical Society 볼륨 , Vol.154 번호 , No.10 페이지 , pp.D494 -D501 (Oct, 2007)
69. [논문] 저자 김창구, 김일욱, 최형수, 엄평용, 이동근, 조성길, 우상호, 김해원, 제목Structural and Morphological Properties of Nitrogen-Doped Polysilicon for Advanced Gate Material 저널 , ECS Transactions 볼륨 , Vol.11 번호 , No.4 페이지 , pp.601 -606 (Oct, 2007)
70. [논문] 저자 채희엽, 장성기, 정동근, 김창구, 김형섭, 제목Simultaneous Oxygen Plasma and Thermal Treatments of an ITO Surface to Improve the Electrical Characteristics of Organic Light-Emitting Diodes 저널 , Journal of the Korean Physical Society 볼륨 , Vol.51 번호 , No.3 페이지 , pp.956 -962 (Sep, 2007)
71. [논문] 저자 김창구, 민재호, 김태호, 윤형진, 신치범, 문상흡, 제목Comparison of Atomic Scale Etching of poly-Si in Inductively Coupled Ar and He Plasmas 저널 , Korean Journal of Chemical Engineering 볼륨 , Vol.24 번호 , No.4 페이지 , pp.670 -673 (Jul, 2007)
72. [논문] 저자 김창구, 류현규, 김일욱, 신치범, 이강택, 제목A Comparative Study on a High Aspect Ratio Contact Hole Etching in UFC- and PFC-Containing Plasmas 저널 , Microelectronics Journal 볼륨 , Vol.38 번호 , No.1 페이지 , pp.125 -129 (Jan, 2007)
73. [논문] 저자 문상흡, 민재호, 이진관, 김창구, 제목Interactive relationships between sidewall and bottom etch rates, as-affected by sidewall angle, during SiO2 etching in a CHF3 plasma 저널 , Journal of Vacuum Science & Technology B 볼륨 , Vol.24 번호 , No.4 페이지 , pp.1746 -1754 (Jul, 2006)
74. [논문] 저자 김창구, 김일욱, 류현규, 신치범, 제목Effects of Wafer Cleaning on the Interconncet Structure and Its Electrical Properties during the Al Dual Damascene Process for the Fabrication of Sub-100nm Memory Devices 저널 , Journal of Chemical Engineering of Japan 볼륨 , Vol.38 번호 , No.11 페이지 , pp.922 -928 (Nov, 2005)
75. [논문] 저자 김창구, 제목Ion Dynamics in Plasma Processing for the Fabrication of Ultrafine Structures 저널 , Korean Journal of Chemical Engineering 볼륨 , Vol.22 번호 , No.5 페이지 , pp.762 -769 (Sep, 2005)
76. [논문] 저자 문상흡, 민재호, 이진관, 김창구, 제목Deep Etching of Silicon with Smooth Sidewalls by an Improved Gas-Chopping Process Using a Faraday Cage and a High Bias Voltage 저널 , Journal of Vacuum Science and Technology B 볼륨 , Vol.23 번호 , No.4 페이지 , pp.1405 -1411 (Jul, 2005)
77. [논문] 저자 문상흡, 이진관, 이겨레, 김창구, 민재호, 제목Improvement of SiO2 Pattern Profiles Etched in CF4 and SF6 Plasmas by Using a Faraday Cage and Neutral Beams 저널 , Surface and Coatings Technology 볼륨 , Vol.193 번호 페이지 , pp.75 -80 (Apr, 2005)
78. [논문] 저자 김창구, 신치범, 제목Plasma Molding over Surface Topography: Measurement of Energy and Angular Distributions of Ions Extracted through a Large Hole 저널 , Thin Solid Films 볼륨 , Vol.475 번호 페이지 , pp.24 -31 (Mar, 2005)
79. [논문] 저자 문상흡, 이진관, 이겨레, 김창구, 민재호, 제목Effect of Sidewall Properties on the Bottom Microtrench during SiO2 Etching in a CF4 Plasma 저널 , Journal of Vacuum Science and Technology B 볼륨 , Vol.23 번호 , No.2 페이지 , pp.425 -432 (Mar, 2005)
80. [논문] 저자 이강택, 주현우, 안익성, Zhijian Wu, 김창구, 김중현, 제목Design of Doped Hybrid Xerogels for a Controlled Release of Brilliant Blue FCF 저널 , Journal of Non-Crystalline Solids 볼륨 , Vol.342 번호 페이지 , pp.46 -53 (Aug, 2004)
81. [논문] 저자 문상흡, 이진관, 이겨레, 김창구, 민재호, 제목Angular dependence of etch rates in the etching of poly-Si and fluorocarbon polymer using SF6, C4F8, and O2 plasmas 저널 , Journal of Vacuum Science and Technology A 볼륨 , Vol.22 번호 , No.3 페이지 , pp.661 -669 (May, 2004)
82. [논문] 저자 문상흡, 이진관, 이겨레, 김창구, 민재호, 제목Dependences of bottom and sidewall etch rates on bias voltage and source power during the etching of poly-Si and fluorocarbon polymer using SF6, C4F8, and O2 plasmas 저널 , Journal of Vacuum Science and Technology B 볼륨 , Vol.22 번호 , No.3 페이지 , pp.893 -901 (May, 2004)
83. [논문] 저자 김창구, 제목Analysis of Langmuir Probe Data in High Density Plasmas 저널 , Korean Journal of Chemical Engineeirng 볼륨 , Vol.21 번호 , No.3 페이지 , pp.746 -751 (May, 2004)
84. [논문] 저자 김창구, 이병석, 박성기, 김일욱, 류현규, 제목Effect of CH2F2 Addition on a High Aspect Ratio Contact Hole Etching in a C4F6/O2/Ar Plasma 저널 , Electrochemical and Solid-State Letters 볼륨 , Vol.6 번호 , No.9 페이지 , pp.C126 -C129 (Sep, 2003)
85. [논문] 저자 문상흡, 황성욱, 조병옥, 김창구, 류정현, 제목Trajectories of Ions inside a Faraday Cage Located in a High Density Plasma Etcher 저널 , Korean Journal of Chemical Engineering 볼륨 , Vol.20 번호 , No.2 페이지 , pp.407 -413 (Feb, 2003)
86. [논문] 저자 김창구, Demetre J.Economou, 제목Plasma molding over surface topography: Energy and angular distribution of ions extracted out of large holes 저널 , Journal of Applied Physics 볼륨 , Vol.91 번호 , No.5 페이지 , pp.2594 -2603 (Mar, 2002)

1. [논문] 저자 김창구, 유상현, 김준현, 권혁규, 제목고밀도 C4F8 플라즈마에서 증착된 불화탄소막의 광학적 및 전기적 특성 저널 , KOREAN CHEMICAL ENGINEERING RESEARCH(화학공학) 볼륨 번호 페이지 , pp.254 -259 (May, 2021)
2. [논문] 저자 김창구, 박창진, 김준현, 제목유연전극을 이용한 대기압 부유전극 유전체 장벽 방전 플라즈마 저널 , Korean Chemical Engineering Research 볼륨 , Vol.57 번호 , No.3 페이지 , pp.432 -437 (Jun, 2019)
3. [논문] 저자 김창구, 조성운, 김준현, 이혜민, 제목백금 나노입자 전착의 전기화학적 분석 저널 , KOREAN CHEMICAL ENGINEERING RESEARCH(화학공학) 볼륨 , Vol.53 번호 , No.5 페이지 , pp.540 -544 (Oct, 2015)
4. [논문] 저자 김창구, 지정민, 조성운, 제목Bosch 공정에서 Si 식각속도와 식각프로파일에 대한 Ar 첨가의 영향 저널 , KOREAN CHEMICAL ENGINEERING RESEARCH(화학공학) 볼륨 , Vol.51 번호 , No.6 페이지 , pp.755 -759 (Dec, 2013)
5. [논문] 저자 김창구, 윤형진, 김태호, 제목Electroless Plating of Co-Alloy Thin Films Using Alkali-Free Chemicals 저널 , The Korean Journal of Chemical Engineering Research 볼륨 , Vol.45 번호 , No.6 페이지 , pp.633 -637 (Dec, 2007)

1. [학술회의] 저자 김창구, 유상현, 제목The Use of Fluorinated Ethers for Plasma Etching of SiO2 저널 , Korean International Semiconductor Conference on Manufacturing Technology 2022 볼륨 번호 페이지 (Nov, 2022)
2. [학술회의] 저자 김창구, 유상현, 제목SiO2 contact hole etching using heptafluoropropyl methyl ether plasmas 저널 , AVS 68th International Symposium 볼륨 번호 페이지 (Nov, 2022)
3. [학술회의] 저자 김창구, 유상현, 제목In search of etchants with low global warming potential for plasma etching 저널 , 한국화학공학회 2022년 가을 학술대회 볼륨 번호 페이지 (Oct, 2022)
4. [학술회의] 저자 김창구, 유상현, 제목HFE-347mcc3를 이용한 cyclic plasma etching 저널 , 한국화학공학회 2022년 가을 학술대회 볼륨 번호 페이지 (Oct, 2022)
5. [학술회의] 저자 김창구, 유상현, 제목Plasma etching of SiO2 using a mixture of fluorinated ether and fluorinated alcohol 저널 , Materials Challenges in Alternative & Renewable Energy (MCARE 2022) 볼륨 번호 페이지 , pp.345 -345 (Aug, 2022)
6. [학술회의] 저자 김창구, 유상현, 제목High aspect ratio SiO2 contact hole etching using hydrofluoroether plasmas 저널 , Materials Challenges in Alternative & Renewable Energy (MCARE 2022) 볼륨 번호 페이지 , pp.345 -345 (Aug, 2022)
7. [학술회의] 저자 김창구, 유상현, 제목Angular dependence of etch rates in fluoro-ether/O2/Ar plasmas 저널 , 한국화학공학회 2021년 가을 총회 및 국제 학술대회 볼륨 번호 페이지 (Oct, 2021)
8. [학술회의] 저자 김창구, 선은재, 제목Angular dependence of SiO2 etch rates in hydrofluoroalcohol-containing plasmas 저널 , 한국화학공학회 2021년 가을 총회 및 국제 학술대회 볼륨 번호 페이지 (Oct, 2021)
9. [학술회의] 저자 김창구, 이유종, 제목Effects of O2 addition on etching process in heptafluoropropyl methyl ether plasmas 저널 , 한국화학공학회 2021년 가을 총회 및 국제 학술대회 볼륨 번호 페이지 (Oct, 2021)
10. [학술회의] 저자 김창구, 유상현, 김준현, 제목Angular dependence of Si3N4 etch rates in various fluorocarbon plasmas 저널 , The 8th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology (ICMAP) & The 9th International Symposium on Functional Materials (ISFM) 볼륨 번호 페이지 (Jan, 2021)
11. [학술회의] 저자 김창구, 김준현, 유상현, 제목Plasma etching of SiO2 using hydrofluoroethers 저널 , The 8th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology (ICMAP) & The 9th International Symposium on Functional Materials (ISFM) 볼륨 번호 페이지 (Jan, 2021)
12. [학술회의] 저자 김창구, 김수현, 김지현, 유상현, 김준현, 제목Reduction in the optical reflectance of kerf-loss free silicon wafers using CF4/O2 plasmas 저널 , The 30th International Photovoltaic Science and Engineering Conference (PVSEC-30) & Global Photovoltaic Conference 2020 (GPVC 2020) 볼륨 번호 페이지 (Nov, 2020)
13. [학술회의] 저자 김창구, 유상현, 제목Hydrofluoroether 플라즈마를 이용한SiO2 식각 저널 , 한국화학공학회 2020년도 가을 총회 및 국제학술대회 볼륨 번호 페이지 (Oct, 2020)
14. [학술회의] 저자 김창구, 김준현, 박진수, 제목The use of hexafluoroisopropanol as an alternative to perfluoro compounds for plasma etching of SiO2 저널 , Materials Challenges in Alternative & Renewable Energy (MCARE 2019) 볼륨 번호 페이지 (Aug, 2019)
15. [학술회의] 저자 김창구, 김준현, 박진수, 제목Plasma etching of SiO2 using hexafluoroisopropanol 저널 , 24th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 24) 볼륨 번호 페이지 (Jun, 2019)
16. [학술회의] 저자 김창구, 박진수, 김준현, 제목Fabrication of slanted Si pillars for Antireflective surfaces using plasma etching 저널 , 24th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 24) 볼륨 번호 페이지 (Jun, 2019)
17. [학술회의] 저자 김창구, 김준현, 제목Surface texturing with slanted silicon nanopillars to reduce its optical reflectivity 저널 , 21st International Conference on Advanced Materials and Nanotechnology 볼륨 번호 페이지 (Sep, 2018)
18. [학술회의] 저자 김창구, 김준현, 박진수, 제목Angular dependence of SiO2 etch rates in hexafluoroisopropanol plasmas 저널 , 7th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology 볼륨 번호 페이지 (Jul, 2018)
19. [학술회의] 저자 김창구, 박진수, 김준현, 제목Plasma etching of SiO2 perfluorinated and partially fluorinated fluoro ethers 저널 , 7th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology 볼륨 번호 페이지 (Jul, 2018)
20. [학술회의] 저자 김창구, 제목The use of HFE-347mcc3 plasmas as an alternative to perfluorocarbons to reduce global warming potential during SiO2 contact hole etching 저널 , 9th International Conference on Environmental Engineering and Applications (ICEEA 2018) 볼륨 번호 페이지 (Jul, 2018)
21. [학술회의] 저자 김창구, 김준현, 박진수, 제목Angular Dependence of Si3N4 Etch rates in C4F6/CH2F2/O2/Ar Plasmas 저널 , 10th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2018) 볼륨 번호 페이지 (Mar, 2018)
22. [학술회의] 저자 김창구, 김준현, 김가연, 제목A dielectric barrier discharge system for flexible substrates 저널 , 10th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2018) 볼륨 번호 페이지 (Mar, 2018)
23. [학술회의] 저자 김창구, 김준현, 신용선, 제목Fabrication of antireflective Si surfaces using slanted plasma etching 저널 , 10th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2018) 볼륨 번호 페이지 (Mar, 2018)
24. [학술회의] 저자 김창구, 이혜민, 제목One-step chemical precipitation of vanadium nitrides for electrochemical capacitors 저널 , 191st International Conference on Chemical and Biochemical Engineering (ICCBE) 볼륨 번호 페이지 (Feb, 2018)
25. [학술회의] 저자 김창구, 김준현, 제목Antireflective surfaces with Si nanopillars at controllable angles 저널 , 9th International Conference on Nanomaterials - Research & Application (NANOCON) 볼륨 번호 페이지 (Oct, 2017)
26. [학술회의] 저자 김창구, 김준현, 제목Use of flexible electrodes for a dielectric barrier discharge 저널 , The 10th International Conference on Plasma Science and Applications (ICPSA) 2017 볼륨 번호 페이지 (Oct, 2017)
27. [학술회의] 저자 김창구, 김준현, 제목Fabrication of antireflection slanted Si pillars using slanted plasma etching 저널 , 7th Central European Symposium on Plasma Chemistry 볼륨 번호 페이지 (Sep, 2017)
28. [학술회의] 저자 김창구, 박창진, 김준현, 제목Fabrication of superhydrophobic Si surfaces in a plasma etching system 저널 , 7th Central European Symposium on Plasma Chemistry 볼륨 번호 페이지 (Sep, 2017)
29. [학술회의] 저자 김창구, 박창진, 제목Development of characteristics of a dielectric barrier discharge system having flexible electrodes 저널 , 7th Central European Symposium on Plasma Chemistry 볼륨 번호 페이지 (Sep, 2017)
30. [학술회의] 저자 김창구, 김준현, 박창진, 제목Low pressure chemical vapor deposition of tin on Ni-Cr wires for fusible resistors 저널 , Global Conference on Engineering and Applied Science (2017 GCEAS) 볼륨 번호 페이지 (Jul, 2017)
31. [학술회의] 저자 김창구, 이경미, 김준현, 강두원, 박창진, 박정근, 제목Control of the electrical resistivity of Ni-alloy wires by chemical vapor deposition 저널 , Materials Challenges in Alternative & Renewable Energy (MCARE 2017) 볼륨 번호 페이지 (Feb, 2017)
32. [학술회의] 저자 김창구, 박창진, 제목Mechanism of changes in etch rates of silicon dioxide with ion-incident angle during fluorocarbon plasma etching 저널 , 5th International Conference on System Modeling and Optimization (ICSMO 2017) 볼륨 번호 페이지 (Feb, 2017)
33. [학술회의] 저자 김창구, 김준현, 제목Effect of discharge gas on the angular dependence of SiO2 etch rates in various fluorocarbon plasmas 저널 , The 6th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology (ICMAP 2016) 볼륨 번호 페이지 (Sep, 2016)
34. [학술회의] 저자 김창구, 박창진, 제목Advanced cyclic etching to reduce the diameter of SiO2 contact holes 저널 , 15th International Conference on Plasma Surface Engineering (PSE 2016) 볼륨 번호 페이지 (Sep, 2016)
35. [학술회의] 저자 김창구, 박정근, 제목Angular dependence of SiO2 etch rates during fluorocarbon plasma etching 저널 , 15th International Conference on Plasma Surface Engineering (PSE 2016) 볼륨 번호 페이지 (Sep, 2016)
36. [학술회의] 저자 김창구, 김준현, 제목Fabrication of single- and multi-directional slanted profiles of Si using plasma etching 저널 , 15th International Conference on Plasma Surface Engineering (PSE 2016) 볼륨 번호 페이지 (Sep, 2016)
37. [학술회의] 저자 김창구, 박창진, 제목Changes in the angular dependence of SiO2 etch rates with bias voltage in a C4F8 plasma 저널 , 15th International Conference on Plasma Surface Engineering (PSE 2016) 볼륨 번호 페이지 (Sep, 2016)
38. [학술회의] 저자 김창구, 김준현, 제목Use of conventional plasma etching system for the fabrication of superhydrophobic Si surfaces 저널 , 15th International Conference on Plasma Surface Engineering (PSE 2016) 볼륨 번호 페이지 (Sep, 2016)
39. [학술회의] 저자 김창구, 정황보, 이혜민, 제목Environmentally benign synthesis of graphene based binary metal oxides for electrochemical capacitors 저널 , 18th Topical Meeting of the International Society of Electrochemistry 볼륨 번호 페이지 (Mar, 2016)
40. [학술회의] 저자 김창구, 정황보, 이혜민, 제목A facile synthesis and electrochemical analysis of vanadium nitride for electrochemical capacitors 저널 , 18th Topical Meeting of the International Society of Electrochemistry 볼륨 번호 페이지 (Mar, 2016)
41. [학술회의] 저자 김창구, 조성운, 김준현, 제목Fabrication of slanted nanostructures using a Faraday cage system 저널 , 6th International Conference on Nanotechnology (Nanotechnology 2015) 볼륨 번호 페이지 (Nov, 2015)
42. [학술회의] 저자 김창구, 조성운, 김준현, 제목Fabrication of slanted silicon profiles using plasma etching 저널 , International Conference on Engineering, Technology, and Applied Science (ICETA) 2015 볼륨 번호 페이지 (Apr, 2015)
43. [학술회의] 저자 김창구, 조성운, 김준현, 박정근, 옥승수, 제목Effect of fluorocarbon discharge gas on the angular dependence of SiO2 etch rates 저널 , 7th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials 볼륨 번호 페이지 (Mar, 2015)
44. [학술회의] 저자 김창구, 조성운, 김준현, 제목Multi-directional slanted plasma etching of silicon 저널 , 7th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials 볼륨 번호 페이지 (Mar, 2015)
45. [학술회의] 저자 김창구, 백창용, 강두원, 이경미, 김준현, 조성운, 제목Dopantless tin oxide films prepared by LPCVD 저널 , Materials Challenges in Alternative & Renewable Energy (MCARE 2015) 볼륨 번호 페이지 , pp.122 -122 (Feb, 2015)
46. [학술회의] 저자 김창구, 백창용, 강두원, 이경미, 김준현, 조성운, 제목Effect of deposition temperature on electrical properties of dopantless tin oxide films 저널 , Materials Challenges in Alternative & Renewable Energy (MCARE 2015) 볼륨 번호 페이지 , pp.225 -225 (Feb, 2015)
47. [학술회의] 저자 김창구, 백창용, 강두원, 이경미, 김준현, 조성운, 제목Electrical properties and surface morphologies of SnO2 films prepared by LPCVD 저널 , 11th International Conference on Nano-Molecular Electronics 볼륨 번호 페이지 , pp.100 -100 (Dec, 2014)
48. [학술회의] 저자 김창구, 조성운, 제목Oblique plasma etching: Fabrication of single-and multi-directional etch profiles 저널 , 11th International Conference on Nano-Molecular Electronics 볼륨 번호 페이지 , pp.104 -104 (Dec, 2014)
49. [학술회의] 저자 김창구, 정경화, 김상욱, 이혜민, 제목Pseudocapacitive performance of porous ZrO2-SiO2 sheets doped with WO3 nanoparticles 저널 , Chiba University-Ajou University Symposium 2014 볼륨 번호 페이지 , pp.25 -25 (Dec, 2014)
50. [학술회의] 저자 김창구, 제목Multi-directional slanted plasma etching 저널 , Chiba University-Ajou University Symposium 2014 볼륨 번호 페이지 , pp.12 -12 (Dec, 2014)
51. [학술회의] 저자 김창구, 백창용, 강두원, 이경미, 조성운, 김준현, 제목Low pressure chemical vapor deposition of dopantless tin oxide films 저널 , 11th Korea-Japan Symposium on Materials & Interface 볼륨 번호 페이지 , pp.37 -37 (Nov, 2014)
52. [학술회의] 저자 김창구, 백창용, 강두원, 이경미, 조성운, 김준현, 제목Low pressure chemical vapor deposition of SnO2 films: Temperature dependence of electrical properties 저널 , 11th Korea-Japan Symposium on Materials & Interface 볼륨 번호 페이지 , pp.36 -36 (Nov, 2014)
53. [학술회의] 저자 김창구, 이혜민, 남궁윤미, 제목Addition of TTAB as a surfactant for the electrodeposition of cobalt oxide films 저널 , 65th Annual Meeting of the International Society of Electrochemistry 볼륨 번호 페이지 (Sep, 2014)
54. [학술회의] 저자 김창구, 이혜민, 제목Effects of TTAB concentration on the electrodeposited manganese oxide for electrochemical capacitors 저널 , 65th Annual Meeting of the International Society of Electrochemistry 볼륨 번호 페이지 (Sep, 2014)
55. [학술회의] 저자 김창구, 정경화, 김상욱, 이혜민, 제목A facile synthesis and electrochemical analysis of cobalt hydroxide/graphene nanocomposites 저널 , 65th Annual Meeting of the International Society of Electrochemistry 볼륨 번호 페이지 (Sep, 2014)
56. [학술회의] 저자 김창구, 이혜민, 남궁윤미, 제목Electrodeposition and electrochemical analysis of ternary metal oxides for supercapacitors 저널 , 65th Annual Meeting of the International Society of Electrochemistry 볼륨 번호 페이지 (Sep, 2014)
57. [학술회의] 저자 김창구, 조성운, 제목Slanted plasma etching: Fabrication of three-dimensional nanostructures 저널 , 6th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials 볼륨 번호 페이지 (Mar, 2014)
58. [학술회의] 저자 김창구, 조성운, 김준현, 제목Dopantless control over the electrical properties of tin oxide films by LPCVD 저널 , 2014 Kyoto-Ajou Joint Symposium on Energy Science 볼륨 번호 페이지 (Feb, 2014)
59. [학술회의] 저자 김창구, 정경화, 김상욱, 이혜민, 제목Supercapacitive properties of metal oxide-graphene nanocompoites 저널 , 2013 Materials Research Society Fall Meeting 볼륨 번호 페이지 (Dec, 2013)
60. [학술회의] 저자 김창구, 정경화, 김상욱, 이혜민, 제목One-step synthesis of Co(OH)2/graphene nanocomposites from graphite for electrochemical supercapacitors 저널 , 224th Electrochemical Society Meeting 볼륨 번호 페이지 (Oct, 2013)
61. [학술회의] 저자 김창구, 정경화, 김상욱, 이혜민, 제목Fabrication of metal oxide/graphene nanocomposites for electrochemical capacitors 저널 , 224th Electrochemical Society Meeting 볼륨 번호 페이지 (Oct, 2013)
62. [학술회의] 저자 김창구, 조성운, 김준현, 제목Effect of the substrate temperature on the electrical conductivity of tin oxide films by LPCVD 저널 , TACT 2013 International Thin Films Conference 볼륨 번호 페이지 (Oct, 2013)
63. [학술회의] 저자 김창구, 조성운, 김준현, 제목Characteristics of electrical conductivity of undopped tin oxide films prepared by low pressure chemical vapor deposition 저널 , TACT 2013 International Thin Films Conference 볼륨 번호 페이지 (Oct, 2013)
64. [학술회의] 저자 김창구, 김준현, 조성운, 제목Angular dependence of etch rates and etch selectivity of Si3N4 in C4F6/Ar/O2/CH2F2 plasmas 저널 , Dry Process Symposium 2013 볼륨 번호 페이지 , pp.137 -138 (Aug, 2013)
65. [학술회의] 저자 김창구, 이혜민, 제목Electrodeposition of single and binary manganese oxides for electrochemical capacitors 저널 , 9th World Congress of Chemical Engineering 볼륨 번호 페이지 (Aug, 2013)
66. [학술회의] 저자 김창구, 김준현, 제목Kinetic analysis of tin oxide films prepared by low pressure chemical vapor deposition 저널 , 9th World Congress of Chemical Engineering 볼륨 번호 페이지 (Aug, 2013)
67. [학술회의] 저자 김창구, 조성운, 제목Mechanism of SiO2 etching in C4F6/Ar/O2/CH2F2 plasmas 저널 , 9th World Congress of Chemical Engineering 볼륨 번호 페이지 (Aug, 2013)
68. [학술회의] 저자 김창구, 조성운, 김준현, 이혜민, 제목Fabrication of three-dimensional nanostructures using a high-density plasma 저널 , 9th World Congress of Chemical Engineering 볼륨 번호 페이지 (Aug, 2013)
69. [학술회의] 저자 김창구, 김준현, 조성운, 제목Angular dependence of SiO2 etch rates in C4F6/CH2F2/O2/Ar plasmas 저널 , 5th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2013) 볼륨 번호 페이지 (Jan, 2013)
70. [학술회의] 저자 이혜민, 김창구, 제목Electrodeposition and electrochemical analysis binary metal oxides for supercapacitors 저널 , Materials Research Society 2012 Fall Meeting 볼륨 번호 페이지 (Nov, 2012)
71. [학술회의] 저자 김창구, 문상흡, 이진관, 제목Plasma etching for the fabrication of nanoscale patterns: A new cyclic process for high aspect-ratio SiO2 contact holes 저널 , UKC 2012 볼륨 번호 페이지 (Aug, 2012)
72. [학술회의] 저자 김창구, 이형무, 제목Development of environmentally benign deep silicon etching using C4F6 plasmas in the deposition step of the Bosch process 저널 , UKC 2012 볼륨 번호 페이지 (Aug, 2012)
73. [학술회의] 저자 김창구, 이혜민, 홍다혜, 제목Effect of pH and temperature on the electrodeposition of Co-Mn oxide thin films 저널 , 220th Electrochemical Society Meeting 볼륨 번호 페이지 (Oct, 2011)
74. [학술회의] 저자 김창구, 이혜민, 제목Electrodeposition of Ni-Mn oxides thin films on a carbon sheet for Electrochemical supercapacitors 저널 , 220th Electrochemical Society Meeting 볼륨 번호 페이지 (Oct, 2011)
75. [학술회의] 저자 김창구, 이혜민, 서승혜, 제목Electrodeposition of cobalt-manganese oxide thin films for supercapacitor electrodes 저널 , 14th Asian Chemical Congress 2011 볼륨 번호 페이지 (Sep, 2011)
76. [학술회의] 저자 김창구, 이혜민, 제목Preparation of characterization of electrodeposited manganese-nickel oxide films for electrochemical supercapacitors 저널 , 14th Asian Chemical Congress 2011 볼륨 번호 페이지 (Sep, 2011)
77. [학술회의] 저자 Rajagopal, Ganesan, Muthukumar, 김창구, 제목Optical and Electrical Properties of Pure and Aluminium - Doped Zinc Oxide Thin Film Nanostructures Synthesized by Electrodeposition Technique 저널 , International Conference on Nanoscience and Nanotechnology (ICNN 2011) 볼륨 번호 페이지 (Jul, 2011)
78. [학술회의] 저자 김창구, 조성운, 제목Angular dependence of Si3N4 etch rates and SiO2-to-Si3N4 etch selectivity in C4F6/Ar/O2/CH2F2 plasmas 저널 , 38th IEEE International Conference on Plasma Science 볼륨 번호 페이지 (Jun, 2011)
79. [학술회의] 저자 김창구, 조성운, 김준현, 제목Control of the contact hole diameter using inductively coupled fluorocarbon and hydrocarbon plasmas 저널 , 38th IEEE International Conference on Plasma Science 볼륨 번호 페이지 (Jun, 2011)
80. [학술회의] 저자 김창구, 서승혜, 이혜민, 제목Characterization of Electrolessly Plated NiMoP Thin Films Using Alkali-Metal-Free Chemicals 저널 , The 61st Annual Meeting of the International Society of Electrochemistry 볼륨 번호 페이지 (Sep, 2010)
81. [학술회의] 저자 김창구, 서승혜, Kandalkar, 이혜민, 제목Electrodeposition of Cobalt Oxide Electrode for Supercapacitor Applications 저널 , The 61st Annual Meeting of the International Society of Electrochemistry 볼륨 번호 페이지 (Sep, 2010)
82. [학술회의] 저자 김창구, 이혜민, 손영선, 제목Effect of pH and Temperature of the Electrolyte on the Electrodeposition of CoWP Films Using Alkali-Metal-Free Precursors 저널 , 217th Electrochemical Society Meeting 볼륨 번호 페이지 (Apr, 2010)
83. [학술회의] 저자 김창구, 이진관, 문상흡, 조성운, 제목Effect of CH2F2 addition on the angular dependence of Si3N4 etch rates and SiO2-to-Si3N4 etch selectivity in a C4F6/Ar/O2 plasma 저널 , 2nd international symposium on advanced plasma science and its applications for nitrides and nanomaterials (ISPlasma 2010) 볼륨 번호 페이지 (Mar, 2010)
84. [학술회의] 저자 김창구, 신우식, 지정민, 제목Improvement of RIE lag in high aspect ratio Si etching 저널 , 2nd international symposium on advanced plasma science and its applications for nitrides and nanomaterials 볼륨 번호 페이지 (Mar, 2010)
85. [학술회의] 저자 김창구, 이혜민, 손영선, 제목Formation and characterization of nanostructured TiNi films fabricated using an electrochemical method 저널 , 216th Electrochemical Society 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.x -x (Oct, 2009)
86. [학술회의] 저자 김창구, 조성운, Dulal, 신우식, 제목Fabrication and characterization of NiMoP thin films fabricated using an electrochemical method 저널 , 216th Electrochemical Society 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.x -x (Oct, 2009)
87. [학술회의] 저자 김창구, 지정민, Dulal, 신우식, 제목Structural and morphological characteristics of the electrodeposited CoWP thin films 저널 , 216th Electrochemical Society 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.x -x (Oct, 2009)
88. [학술회의] 저자 김창구, 이혜민, 손영선, 제목Use of alkali-metal-free chemicals in the electrodeposition of CoWP capping layers for Cu interconnection 저널 , 216th Electrochemical Society 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.x -x (Oct, 2009)
89. [학술회의] 저자 김창구, 우상호, 김해원, 엄평용, 지정민, 김일욱, 제목Formation and characterization of thin silicon dioxide films obtained by inductively coupled high-density plasmas using a dual rotated spiral antenna system 저널 , 216th Electrochemical Society 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.x -x (Oct, 2009)
90. [학술회의] 저자 문상흡, 이진관, 김창구, 제목A Novel Etching Process to Obtain a Bowing-Free SiO2 Contact Hole 저널 , ICMAP 2008 볼륨 번호 페이지 , pp.180 -180 (Aug, 2008)
91. [학술회의] 저자 김창구, 남궁윤미, 이혜민, 권혁규, 제목Characteristics of Etch Profiles Processed with the Bosch Process Using SF6/C4F8 and SF6/C4F6 Plasmas 저널 , ICMAP 2008 볼륨 번호 페이지 , pp.179 -179 (Aug, 2008)
92. [학술회의] 저자 김창구, 윤형진, Dulal, 신치범, 박병훈, 제목Improvement of Corrosion Protective Properties Using Electrodeposited CoWP Coating 저널 , 213th Electrochemical Society Meeting 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.x -x (May, 2008)
93. [학술회의] 저자 김창구, Dulal, 이혜민, 신치범, 남궁윤미, 제목Effect of Electrolyte Concentration on Electrodeposition of NiMoP Thin Films as Capping Layers 저널 , 213th Electrochemical Society Meeting 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.x -x (May, 2008)
94. [학술회의] 저자 김창구, Mahapatra, 우상호, 권혁규, 박병훈, 제목Control of the Electrical and Optical Properties of Plasma Polymerized Fluorocarbon Films 저널 , 213th Electrochemical Society Meeting 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.x -x (May, 2008)
95. [학술회의] 저자 김창구, Mahapatra, 김일욱, 남궁윤미, 제목Investigation of the Magnetic Properties of Electrodeposited CoWP Films 저널 , 213th Electrochemical Society Meeting 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.x -x (May, 2008)
96. [학술회의] 저자 김창구, 이혜민, Dulal, 권혁규, 제목Electroless Deposition of CoWP Capping Layers Using Alkali-Metal-Free Chemicals 저널 , 213th Electrochemical Society Meeting 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.x -x (May, 2008)
97. [학술회의] 저자 김창구, 김일욱, 최형수, 엄평용, 이동근, 조성길, 우상호, 김해원, 제목Structural and Morphological Properties of Nitrogen Doped Polysilicon for Advanced Gate Material 저널 , 212th Meeting of the Electrochemical society 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.x -x (Oct, 2007)
98. [학술회의] 저자 김창구, 전원진, 윤형진, S.M.S.I.Dulal, 남궁윤미, 제목Effect of Deposition Modes on Composition and Microstructure of Electrodeposited CoWP Film 저널 , 212th Meeting of the Electrochemical society 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.x -x (Oct, 2007)
99. [학술회의] 저자 김창구, 윤형진, 김태호, 박창한, 신치범, S.M.S.I.Dulal, 제목Electrodeposition of CoWP Thin Films on Copper Stacked on Silicon Wafer 저널 , 212th Meeting of the Electrochemical society 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.x -x (Oct, 2007)
100. [학술회의] 저자 김창구, 우상호, 김일욱, 권혁규, 이형무, 제목Gas-Chopping Etching of Silicon Using SF6/C4F8 and SF6/C4F6 Plasmas 저널 , 6th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.28 -28 (Sep, 2007)
101. [학술회의] 저자 문상흡, 장일용, 이진관, 김창구, 이승행, 제목Angular Dependence of Si3N4 Etch Rates and SiO2-TO-Si3N4 Etch Selectivity in a C4F8/Ar Plasma 저널 , 6th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.96 -96 (Sep, 2007)
102. [학술회의] 저자 김창구, 윤형진, 김태호, 제목Electrical and Chemical Characteristics of CoWP Capping Layers Deposited on Cu by Electroless Plating 저널 , 2007 MRS Spring Meeting 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.66 -66 (Apr, 2007)
103. [학술회의] 저자 김창구, 윤형진, 김태호, 신치범, S.M.S.I.Dulal, 제목Development of a Bath and Optimization of Electrochemical Parameters for the Deposition of Platinum Nanoparticles on Graphite 저널 , 2007 MRS Spring Meeting 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.615 -615 (Apr, 2007)
104. [학술회의] 저자 김창구, 이형무, 박창한, 제목Environment-Friendly Plasma Etching of High Aspect Ratio Silicon by a Gas-Chopping Process 저널 , 2007 MRS Spring Meeting 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.51 -52 (Apr, 2007)
105. [학술회의] 저자 김창구, 박창한, 이형무, 유재석, 제목Measurement of Thermal Properties of Thin Films Using the Photothermal Deflection and Photothermal Displacement Methods 저널 , 2007 MRS Spring Meeting 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.764 -765 (Apr, 2007)
106. [학술회의] 저자 김창구, S.M.S.I.Dulal, 전원진, 신치범, 제목Controlling Size, Shape, and Distribution of Platinum Nanoparticles Electrodeposited on Carbon Supports 저널 , 2007 MRS Spring Meeting 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.614 -614 (Apr, 2007)
107. [학술회의] 저자 김창구, 신치범, 이형무, 박창한, 윤형진, 김상인, 김태호, 제목Etching of Poly-Si with Atomic Scale Accuracy in Inductively Coupled Ar and He Plasmas 저널 , 8th International Conference on Solid-State and Integrated-Circuit Technology 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.x -x (Oct, 2006)
108. [학술회의] 저자 문상흡, 장일용, 이진관, 김창구, 이승행, 제목Angular Dependence of the SiO2-to-Si3N4 Etch Selectivity in C4F6/O2/Ar/CH2F2 Plasmas 저널 , International Union for Vacuum Science, Technique, and Applications (IUVSTA) Executive Council Meeti 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.x -x (Sep, 2006)
109. [학술회의] 저자 김창구, 김태호, 김일욱, 윤형진, 이형무, 신치범, 박창한, 제목Etch Characteristics and Mechanisms in Atomic Scale Etching of Poly-Silicon 저널 , 209th Meeting of the Electrochemical Society 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.x -x (May, 2006)
110. [학술회의] 저자 신치범, 윤형진, 전상훈, 김창구, 류홍석, 제목Modeling of the Charge-Discharge Behavior of a 12-V Automotive Lead-Acid Battery 저널 , 209th Meeting of the Electrochemical Society 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.x -x (May, 2006)
111. [학술회의] 저자 김창구, 김일욱, 박창한, 윤형진, 신치범, 김태호, 제목Dependences of the Ion Mass and the Ion Incident Angle on Etch Rates in Atomic Scale Etching of Poly-Si 저널 , 14th Gaseous Electronics Meeting 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.x -x (Feb, 2006)
112. [학술회의] 저자 김창구, 김일욱, 민재호, 신치범, 문상흡, 제목Atomic Scale Etching of Poly-Si in Inductively Coupled Ar and He Plasmas 저널 , AVS 52nd International Symposium 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.x -x (Oct, 2005)
113. [학술회의] 저자 김창구, 김일욱, 류현규, 신치범, 제목Aluminum Dual Damascene Process for the Fabrication of Sub-100nm Memory Devices 저널 , 207th Meeting of the Electrochemical Society 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.x -x (May, 2005)
114. [학술회의] 저자 신치범, 정승면, 김성태, 김창구, 이대훈, 제목Modeling of the Dynamics Behavior of a 12-V Automotive Lead-Acid Battery 저널 , 207th Meeting of the Electrochemical Society 볼륨 , Vol.x 번호 , No.X 페이지 , pp.X -X (May, 2005)
115. [학술회의] 저자 김창구, 김일욱, 류현규, 신치범, 제목High Aspect Ratio Contact Hole Etching in C4/F6/O2/Ar/CH2F2 and c-C4/F8/O2/Ar/CH2F2 Plasmas 저널 , American Vacuum Society 51st International Symposium 볼륨 번호 페이지 (Nov, 2004)
116. [학술회의] 저자 김창구, 김일욱, 류현규, 신치범, 제목Aluminum dual damascene metallization for sub-100 nm memory devices 저널 , 6th Japan-Korea Symposium on Materials and Interfaces 볼륨 번호 페이지 (Oct, 2004)
117. [학술회의] 저자 김창구, 김일욱, 유현구, 신치범, 제목The Use of C4F6 Plasmas as an Alternative to Perfluorocarbons for High Aspect Ratio Contact Hole Etching 저널 , 206th Meeting of the Electrochemical Society 볼륨 , Vol.N/A 번호 , No.N/A 페이지 , pp.N/A -N/A (Oct, 2004)
118. [학술회의] 저자 신치범, 조원일, 서동진, 조병원, 김창구, 전상훈, 제목Modeling of a Capacitive Deionization Process 저널 , 205th Meeting of the Electrochemical Society 볼륨 번호 페이지 (May, 2004)
119. [학술회의] 저자 문상흡, 이진관, 이겨레, 김창구, 민재호, 제목Improvement of Anisotropy and Aspect Ratio of a Pattern Etched in Bosch Process by Using a Faraday Cage 저널 , American Vacuum Society 50th International Symposium 볼륨 , Vol.1 번호 , No.1 페이지 , pp.72 -72 (Nov, 2003)
120. [학술회의] 저자 신치범, 최경희, 신현철, 김홍건, 김창구, 이종협, 제목A Study on the Pollutant Fate Based on Multimedia Urban Model 저널 , Annual Meeting of American Institute of Chemical Engineers 볼륨 번호 페이지 (Nov, 2003)
121. [학술회의] 저자 김창구, Demetre J.Economou, 신치범, 제목Plasma Molding over Surface Topography: Measurement of Energy and Angular Distributions of Ions Extracted through a Large Hole 저널 , 4th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE 2003) 볼륨 번호 페이지 , pp.306 -306 (Oct, 2003)
122. [학술회의] 저자 문상흡, 이진관, 이겨레, 김창구, 민재호, 제목Improvement of SiO2 Pattern Profile Etched in Ar and CF4 Plasmas by Using a Faraday Cage and Neutralized Ions 저널 , 4th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE 2003) 볼륨 번호 페이지 , pp.334 -334 (Oct, 2003)

1. [학술회의] 저자 김창구, 선은재, 제목Etching of SiO2 in inductively coupled plasmas using heptafluoropropyl methyl ether and perfluoropropyl carbinol 저널 , 한국화학공학회 2022년 봄 학술대회 볼륨 번호 페이지 (Apr, 2022)
2. [학술회의] 저자 김창구, 이유종, 제목Etching of SiO2 in an inductively coupled plasma using hexafluoroisopropanol 저널 , 한국화학공학회 2022년 봄 학술대회 볼륨 번호 페이지 (Apr, 2022)
3. [학술회의] 저자 김창구, 유상현, 제목SiO2 contact hole etching using heptafluoropropyl methyl ether/pentafluoropropanol/O2/Ar plasmas 저널 , 한국화학공학회 2022년 봄 학술대회 볼륨 번호 페이지 (Apr, 2022)
4. [학술회의] 저자 김창구, 선은재, 제목Oxide etching characteristics using heptafluoroisopropyl methyl ether and perfluoropropyl carbinol plasmas 저널 , 제62회 한국진공학회 동계정기학술대회 볼륨 번호 페이지 , pp.141 -141 (Feb, 2022)
5. [학술회의] 저자 김창구, 이유종, 제목SiO2 contact hole etching in fluoro-alcohol plasmas 저널 , 제62회 한국진공학회 동계정기학술대회 볼륨 번호 페이지 (Feb, 2022)
6. [학술회의] 저자 김창구, 유상현, 제목High aspect ratio contact hole etching using heptafluoropropyl methyl ether and pentafluoropropanol plasmas 저널 , 제62회 한국진공학회 동계정기학술대회 볼륨 번호 페이지 (Feb, 2022)
7. [학술회의] 저자 김창구, 유상현, 제목Etch characteristics of SiO2 using fluorinated ether plasmas 저널 , 제29회 한국반도체학술대회 볼륨 번호 페이지 (Jan, 2022)
8. [학술회의] 저자 김창구, 유상현, 제목Plasma etching of Sio2 contact holes using heptafluoropropyl methyl ether plasmas 저널 , 제61회 한국진공학회 하계정기학술대회 볼륨 번호 페이지 (Aug, 2021)
9. [학술회의] 저자 김창구, 유상현, 제목Angular dependence of etch rates in fluoro-ether/fluoro-alcohol/Ar plasmas 저널 , 제61회 한국진공학회 하계정기학술대회 볼륨 번호 페이지 (Aug, 2021)
10. [학술회의] 저자 김창구, 이유종, 제목SiO2 contact hole etching in heptafluoropropyl methyl ether and pentafluoropropanol plasmas 저널 , 제61회 한국진공학회 하계정기학술대회 볼륨 번호 페이지 (Aug, 2021)
11. [학술회의] 저자 김창구, 선은재, 제목Angular dependence of SiO2 etch rates in fluoroether-containg plasmas 저널 , 제61회 한국진공학회 하계정기학술대회 볼륨 번호 페이지 (Aug, 2021)
12. [학술회의] 저자 김창구, 김준현, 선은재, 제목Effect of mixing ratio in SiO2 etching using hydrofluoroether plasmas 저널 , 한국화학공학회 2021년도 봄 학술대회 볼륨 번호 페이지 (Apr, 2021)
13. [학술회의] 저자 김창구, 김준현, 유상현, 제목Etching characteristics of fluoroether/fluoroalcohol/Ar plasmas 저널 , 한국화학공학회 2021년도 봄 학술대회 볼륨 번호 페이지 (Apr, 2021)
14. [학술회의] 저자 김창구, 김준현, 이유종, 제목Etching characeteristics of SiO2 in heptafluoropropyl methyl ether and pentafluoropropanol plasmas 저널 , 한국화학공학회 2021년도 봄 학술대회 볼륨 번호 페이지 (Apr, 2021)
15. [학술회의] 저자 김창구, 김준현, 유상현, 제목Angular dependence of SiO2 etch rates during plasma etching in perfluoroalkyl vinyl ethers 저널 , 제60회 한국진공학회 동계정기학술대회 볼륨 번호 페이지 (Feb, 2021)
16. [학술회의] 저자 김창구, 유상현, 채희엽, 김준현, 제목Plasma etching of SiO2 using hydrofluoroethers and fluoroalcohols 저널 , 제28회 한국반도체학술대회 볼륨 번호 페이지 (Jan, 2021)
17. [학술회의] 저자 김창구, 유상현, 제목Plasma etching of SiO2 using perfluoroalkyl vinyl ethers 저널 , 제28회 한국반도체학술대회 볼륨 번호 페이지 (Jan, 2021)
18. [학술회의] 저자 김창구, 김준현, 제목SiO2 etching using hydrofluroethers: the use of low global warming potential materials for plasma etching 저널 , 제27회 한국반도체학술대회 볼륨 번호 페이지 (Feb, 2020)
19. [학술회의] 저자 김창구, 김준현, 박진수, 제목Plasma etching of SiO2 using perfluoropropyl vinyl ether 저널 , 한국화학공학회 2019년 봄 학술대회 볼륨 번호 페이지 (Apr, 2019)
20. [학술회의] 저자 김창구, 김준현, 신용선, 제목Control of ozone concentration in dielectric barrier discharge system 저널 , 한국화학공학회 2019년 봄 학술대회 볼륨 번호 페이지 (Apr, 2019)
21. [학술회의] 저자 김창구, 김준현, 박진수, 제목Angular dependences of SiO2 etching in CF4, C2F6, and C4F8 plasmas 저널 , 제26회 한국반도체학술대회 볼륨 번호 페이지 (Feb, 2019)
22. [학술회의] 저자 김창구, 김준현, 박진수, 제목Mechanism of SiO2 etching in heptafluoropropyl methyl ether plasmas 저널 , 13th Koea-Japan Symposium on Materials and Interfaces 볼륨 번호 페이지 (Nov, 2018)
23. [학술회의] 저자 김창구, 김준현, 박진수, 제목Plasma etching of SiO2 using hexafluoroisopropanol 저널 , 한국화학공학회 2018년 가을 학술대회 볼륨 번호 페이지 (Oct, 2018)
24. [학술회의] 저자 김창구, 김준현, 신용선, 제목The use of TiO2 nanoparticles to reduce ozone concentration in dielectric barrier discharge system 저널 , 한국화학공학회 2018년 가을 학술대회 볼륨 번호 페이지 (Oct, 2018)
25. [학술회의] 저자 김창구, 김가연, 제목Reduction of O3 concentration in a dielectric barrier discharge 저널 , 한국화학공학회 2018년 봄 학술대회 볼륨 번호 페이지 (Apr, 2018)
26. [학술회의] 저자 김창구, 김준현, 박진수, 제목Use of heptafluoroisopropyl methyl ether for plasma etching of SiO2 저널 , 한국화학공학회 2018년 봄 학술대회 볼륨 번호 페이지 (Apr, 2018)
27. [학술회의] 저자 김창구, 김준현, 박진수, 제목Plasma etching of SiO2 using low-GWP etchants 저널 , 한국화학공학회 2018년 봄 학술대회 볼륨 번호 페이지 (Apr, 2018)
28. [학술회의] 저자 김창구, 박창진, 제목Effect of dielectric materials on characteristics of a dielectric barrier discharge system 저널 , 한국화학공학회 2017년 가을 총회 및 학술대회 볼륨 번호 페이지 (Oct, 2017)
29. [학술회의] 저자 김창구, 박창진, 제목Electroless plating of copper on PET without using a seed layer 저널 , 한국화학공학회 2017년 가을 총회 및 학술대회 볼륨 번호 페이지 (Oct, 2017)
30. [학술회의] 저자 김창구, 김준현, 제목Plasma etching for the fabrication of slanted Si rods as low reflection surfaces 저널 , 한국화학공학회 2017년도 봄 학술대회 볼륨 번호 페이지 (Apr, 2017)
31. [학술회의] 저자 김창구, 박창진, 제목Dependence of SiO2 etch rates on the ion-incident angle at various bias voltages in a C4F8 plasma 저널 , 한국화학공학회 2017년도 봄 학술대회 볼륨 번호 페이지 (Apr, 2017)
32. [학술회의] 저자 김창구, 김준현, 제목Superhydrophobic Si surfaces with plasma-treated microrods 저널 , 한국화학공학회 2017년도 봄 학술대회 볼륨 번호 페이지 (Apr, 2017)
33. [학술회의] 저자 김창구, 김준현, 박창진, 제목LPCVD of tin on Ni-based wires to control their electrical resistivity 저널 , 한국화학공학회 2017년도 봄 학술대회 볼륨 번호 페이지 (Apr, 2017)
34. [학술회의] 저자 김창구, 박창진, 제목Control of the contact hole diameter by advanced cyclic etching 저널 , 한국화학공학회 2016년 가을 학술대회 볼륨 번호 페이지 (Oct, 2016)
35. [학술회의] 저자 김창구, 이혜민, 박창진, 제목Fabrication of flexible electrodes by a palladium-free electroless plating 저널 , 한국화학공학회 2016년 가을 학술대회 볼륨 번호 페이지 (Oct, 2016)
36. [학술회의] 저자 김창구, 김준현, 박정근, 제목Effect of bias voltage on the angular dependence of SiO2 etch rates in fluorocarbon plasmas 저널 , 한국화학공학회 2016년 봄 총회 및 학술대회 볼륨 번호 페이지 (Apr, 2016)
37. [학술회의] 저자 김창구, 이경미, 강두원, 박정근, 김준현, 제목Surface treatment of Ni-Cr wires for fusible resistors 저널 , 한국화학공학회 2016년 봄 총회 및 학술대회 볼륨 번호 페이지 (Apr, 2016)
38. [학술회의] 저자 김창구, 박정근, 박창진, 제목Fabrication and characterization of double structured tin oxide films 저널 , 한국화학공학회 2016년 봄 총회 및 학술대회 볼륨 번호 페이지 (Apr, 2016)
39. [학술회의] 저자 김창구, 이혜민, 박창진, 제목Electroless plating of copper on a PET film for flexible electrodes 저널 , 한국화학공학회 2016년 봄 총회 및 학술대회 볼륨 번호 페이지 (Apr, 2016)
40. [학술회의] 저자 김창구, 이경미, 강두원, 박정근, 김준현, 제목Control of the electrical resistivity of Ni-Fe wires for fusible resistors 저널 , 한국화학공학회 2015년 가을 학술대회 볼륨 번호 페이지 (Oct, 2015)
41. [학술회의] 저자 김창구, 박정근, 김준현, 제목Effect of O2 flow rates on the electrical properties of tin oxide films by LPCVD 저널 , 한국화학공학회 2015년 가을 학술대회 볼륨 번호 페이지 (Oct, 2015)
42. [학술회의] 저자 김창구, 이경미, 강두원, 박정근, 김준현, 제목Effect of temperatures on the electrical resistivity of Ni-Cr wires 저널 , 한국화학공학회 2015년 가을 학술대회 볼륨 번호 페이지 (Oct, 2015)
43. [학술회의] 저자 김창구, 조성운, 김준현, 제목Superhydrophobic wetting behaviour of Si surfaces having microrods 저널 , 한국화학공학회 2015년 가을 학술대회 볼륨 번호 페이지 (Oct, 2015)
44. [학술회의] 저자 김창구, 김준현, 조성운, 박정근, 제목Effect of gas composition on the angular dependence of SiO2 etch rates in fluorocarbon plasmas 저널 , 한국화학공학회 2015년도 봄 학술대회 볼륨 번호 페이지 (Apr, 2015)
45. [학술회의] 저자 김창구, 김준현, 백창용, 강두원, 이경미, 박정근, 조성운, 제목Surface treatment to control the electrical resistivity of metal 저널 , 한국화학공학회 2015년도 봄 학술대회 볼륨 번호 페이지 (Apr, 2015)
46. [학술회의] 저자 김창구, 조성운, 김준현, 제목Effect of bias voltage on the angular dependence of SiO2 etch rates in C4F8 plasmas 저널 , 한국화학공학회 2015년도 봄 학술대회 볼륨 번호 페이지 (Apr, 2015)
47. [학술회의] 저자 김창구, 김준현, 조성운, 제목A cyclic process to control the diameter of SiO2 contact holes 저널 , 한국화학공학회 2015년도 봄 학술대회 볼륨 번호 페이지 (Apr, 2015)
48. [학술회의] 저자 김창구, 조성운, 김준현, 제목Angular dependence of Si3N4 etch rates in fluorocarbon plasmas 저널 , 한국화학공학회 2015년도 봄 학술대회 볼륨 번호 페이지 (Apr, 2015)
49. [학술회의] 저자 김창구, 김준현, 조성운, 제목Etch mechanism of Si3N4 in a C4F6/Ar/O2/CH2F2 plasma 저널 , 한국화학공학회 2015년도 봄 학술대회 볼륨 번호 페이지 (Apr, 2015)
50. [학술회의] 저자 김창구, 김준현, 조성운, 제목Directional slanted plasma etching of silicon under practical plasma processing conditions 저널 , 한국화학공학회 2014년 가을 학술대회 볼륨 번호 페이지 , pp.355 -355 (Oct, 2014)
51. [학술회의] 저자 김창구, 백창용, 강두원, 이경미, 김준현, 조성운, 제목LPCVD of tin oxide films: Effect of the substrate temperature on the electrical properties 저널 , 한국화학공학회 2014년 가을 학술대회 볼륨 번호 페이지 , pp.355 -355 (Oct, 2014)
52. [학술회의] 저자 김창구, 조성운, 김준현, 제목Angular dependence of SiO2 etch rate in fluorocarbon plasmas 저널 , 한국화학공학회 2014년 가을 학술대회 볼륨 번호 페이지 , pp.341 -341 (Oct, 2014)
53. [학술회의] 저자 김창구, 조성운, 제목Control of the contact hole diameter in C4F6/Ar/O2/CH2F2 plasmas 저널 , 한국화학공학회 2014년 가을 학술대회 볼륨 번호 페이지 , pp.126 -126 (Oct, 2014)
54. [학술회의] 저자 김창구, 남궁윤미, 이혜민, 제목Electrochemical analysis of manganese oxide supercapacitors in 1,3-alkylimidazolum-based ionic liquids 저널 , 한국화학공학회 2014년 봄 학술대회 볼륨 번호 페이지 , pp.309 -309 (Apr, 2014)
55. [학술회의] 저자 김창구, 김준현, 제목Dependence of the electrical properties of tin oxide films on the substrate temperature 저널 , 한국화학공학회 2014년 봄 학술대회 볼륨 번호 페이지 , pp.293 -293 (Apr, 2014)
56. [학술회의] 저자 김창구, 조성운, 제목Effect of F/C ratio in discharge gases on the angular dependence of etch rates of SiO2 저널 , 한국화학공학회 2014년 봄 학술대회 볼륨 번호 페이지 , pp.322 -322 (Apr, 2014)
57. [학술회의] 저자 김창구, 조성운, 제목A novel process for the fabrication of three-dimensional Si nanostructures 저널 , 한국화학공학회 2014년 봄 학술대회 볼륨 번호 페이지 , pp.294 -294 (Apr, 2014)
58. [학술회의] 저자 김창구, 김준현, 제목Experimental and computational analysis on the deposition of tin oxide films by LPCVD 저널 , 한국화학공학회 2014년 봄 학술대회 볼륨 번호 페이지 , pp.304 -304 (Apr, 2014)
59. [학술회의] 저자 김창구, 조성운, 제목Mechanism of SiO2 etching in fluorocarbon plasmas 저널 , 한국에너지공학회 2014년도 춘계학술발표회 볼륨 번호 페이지 , pp.144 -144 (Apr, 2014)
60. [학술회의] 저자 김창구, 김준현, 제목Reaction kinetics of tin oxide films prepared by LPCVD 저널 , 한국에너지공학회 2014년도 춘계학술발표회 볼륨 번호 페이지 , pp.145 -145 (Apr, 2014)
61. [학술회의] 저자 김창구, 김준현, 이진주, 제목Low pressure chemical vapor deposition of tin oxide films and their morphological and electrical properties 저널 , 한국화학공학회 2013년도 봄 총회 및 학술대회 볼륨 번호 페이지 , pp.300 -300 (Apr, 2013)
62. [학술회의] 저자 김창구, 김준현, 제목Kinetics and mechanisms for the deposition of tin oxide films by low pressure chemical vapor deposition 저널 , 한국화학공학회 2013년도 봄 총회 및 학술대회 볼륨 번호 페이지 , pp.274 -274 (Apr, 2013)
63. [학술회의] 저자 김창구, 조성운, 제목Slanted plasma etching for the fabrication of copper nanorods 저널 , 한국화학공학회 2013년도 봄 총회 및 학술대회 볼륨 번호 페이지 , pp.272 -272 (Apr, 2013)
64. [학술회의] 저자 김창구, 이혜민, 제목Characterization of binary metal oxides electrodeposited on carbon sheets for supercapacitors 저널 , 한국전기화학회 2013년도 춘계총회 및 학술발표회 볼륨 번호 페이지 , pp.226 -226 (Apr, 2013)
65. [학술회의] 저자 김창구, 이혜민, 제목Electrodeposition of binary metal oxides for supercapacitors 저널 , 한국전기화학회 2012년 추계 학술발표회 볼륨 번호 페이지 (Nov, 2012)
66. [학술회의] 저자 김창구, 김준현, 조성운, 이진주, 제목Effect of the O2 flow rate on tin oxide films prepared by low pressure chemical vapor deposition 저널 , 한국화학공학회 2012년 가을 학술대회 볼륨 번호 페이지 (Oct, 2012)
67. [학술회의] 저자 김창구, 강두원, 백창용, 김준현, 조성운, 제목Reaction mechanism of tin oxide films deposited by low pressure chemical vapor deposition 저널 , 한국화학공학회 2012년 가을 학술대회 볼륨 번호 페이지 (Oct, 2012)
68. [학술회의] 저자 김창구, 조성운, 제목Fabrication of three dimensional Cu nanostructures 저널 , 한국화학공학회 2012년 봄 학술대회 볼륨 번호 페이지 (Apr, 2012)
69. [학술회의] 저자 김창구, 조성운, 김준현, 제목Control of the roughness on the sidewall of Si trenches during the Bosch process 저널 , 한국화학공학회 2012년 봄 학술대회 볼륨 번호 페이지 (Apr, 2012)
70. [학술회의] 저자 김창구, 김준현, 조성운, 제목Reduction of contact hole diameter by alternating etching and deposition using a fluorocarbon plasma 저널 , 한국화학공학회 2011년 가을 학술대회 볼륨 번호 페이지 (Oct, 2011)
71. [학술회의] 저자 김창구, 이혜민, 서승혜, 제목Pseudocapacitive properties of electrodeposited Co/Mn composite oxides for electrochemical capacitors 저널 , 한국화학공학회 2011년 가을 학술대회 볼륨 번호 페이지 (Oct, 2011)
72. [학술회의] 저자 김창구, 이혜민, 제목Effect of process variables on the electrodeposition of manganese-nickel oxide films for supercapacitors 저널 , 한국전기화학회 2011년 추계 학술발표대회 볼륨 번호 페이지 (Oct, 2011)
73. [학술회의] 저자 김창구, 김준현, 조성운, 제목Control of the contact hole diameter using inductively coupled fluorocarbon and hydrocarbon plasmas 저널 , 한국화학공학회 2011년도 봄 학술대회 볼륨 번호 페이지 (Apr, 2011)
74. [학술회의] 저자 김창구, 조성운, 제목The role of steady-state fluorocarbon film during SiO2 etching in C4F6/Ar/O2/CH2F2 plasmas 저널 , 한국화학공학회 2011년도 봄 학술대회 볼륨 번호 페이지 (Apr, 2011)
75. [학술회의] 저자 김창구, 서승혜, 이혜민, 제목Characterization of Mn-Ni oxides thin films electrodeposited on carbon sheet 저널 , 한국화학공학회 2011년도 봄 학술대회 볼륨 번호 페이지 (Apr, 2011)
76. [학술회의] 저자 김창구, 이혜민, 서승혜, 제목Preparation and characterization of electrodeposited Co-Mn composite oxide thin films for Pseudocapacitor application 저널 , 한국화학공학회 2011년도 봄 학술대회 볼륨 번호 페이지 (Apr, 2011)
77. [학술회의] 저자 김창구, 조성운, 제목Effect of CH2F2 addition on angular dependence of SiO2 etching in a C4F6/O2/Ar plasma 저널 , 한국화학공학회 2010년도 가을 학술대회 볼륨 번호 페이지 (Oct, 2010)
78. [학술회의] 저자 김창구, 이혜민, 서승혜, 손영선, 제목Corrosion behavior of CoWP films electrodeposited using alkali-free chemicals 저널 , 한국화학공학회 2010년도 가을 학술대회 볼륨 번호 페이지 , pp.326 -326 (Oct, 2010)
79. [학술회의] 저자 김창구, 신우식, 제목Control of RIE lag in Si etching 저널 , 한국화학공학회 2010년도 가을 학술대회 볼륨 번호 페이지 , pp.320 -320 (Oct, 2010)
80. [학술회의] 저자 김창구, 이혜민, 제목Electroless plating of NiMoP capping layers using alkali-free chemicals 저널 , 한국화학공학회 2010년도 봄 학술대회 볼륨 번호 페이지 (Apr, 2010)
81. [학술회의] 저자 김창구, 조성운, 제목Angular dependence of SiO2 etch rates in C4F6/Ar/O2 and C4F6/Ar/O2/CH2F2 plasmas 저널 , 한국화학공학회 2010년 봄 학술대회 볼륨 번호 페이지 (Apr, 2010)
82. [학술회의] 저자 김창구, 이혜민, 손영선, 제목Electrochemical characteristic of electrodeposited CoWP films 저널 , 한국화학공학회 2010년 봄 학술대회 볼륨 번호 페이지 (Apr, 2010)
83. [학술회의] 저자 김창구, S.G.Kandalkar, 서승혜, 제목Preparation and characterization of chemically deposited Co-Ni composite oxide thin films for supercapacitor application 저널 , 한국화학공학회 2010년 봄 학술대회 볼륨 번호 페이지 (Apr, 2010)
84. [학술회의] 저자 김창구, S.G.Kandalkar, 제목Porous nanostructured Co3O4/NiO composite electrode for supercapacitors 저널 , 한국화학공학회 2010년 봄 학술대회 볼륨 번호 페이지 (Apr, 2010)
85. [학술회의] 저자 김창구, 조성운, 이진관, 문상흡, 제목Angular dependence of Si3N4 etch rates and SiO2-to-Si3N4 etch selectivity in a C4F6/Ar/O2/CH2F2 plasma 저널 , 한국화학공학회 2009년도 가을 학술대회 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.x -x (Oct, 2009)
86. [학술회의] 저자 김창구, 이혜민, 손영선, 제목Shape and size control of platinum nanoparticles electrodeposited on graphite 저널 , 한국화학공학회 2009년도 가을 학술대회 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.x -x (Oct, 2009)
87. [학술회의] 저자 김창구, 지정민, 이혜민, 손영선, 신우식, 제목Electrochemical analysis of CoWP thin films electrodeposited using alkali-free precursors 저널 , 한국화학공학회 2009년도 가을 학술대회 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.x -x (Oct, 2009)
88. [학술회의] 저자 김창구, 이혜민, Dulal, 손영선, 제목Electrodeposition of CoWP Thin Films Using Alkali-Free Chemicals 저널 , 한국화학공학회 2009년 봄 학술대회 볼륨 번호 페이지 , pp.288 -288 (Apr, 2009)
89. [학술회의] 저자 김창구, 윤형진, Dulal, 남궁윤미, 제목Electrodeposition and characterisation of amorphous NiMoP thin films 저널 , 한국화학공학회 2009년 봄 학술대회 볼륨 번호 페이지 , pp.322 -322 (Apr, 2009)
90. [학술회의] 저자 김창구, 지정민, 조성운, 제목Characteristics of fluorocarbon films deposited in perfluorocarbon and unsaturated fluorocarbon plasmas 저널 , 한국화학공학회 2009년 봄 학술대회 볼륨 번호 페이지 , pp.287 -287 (Apr, 2009)
91. [학술회의] 저자 김창구, 김일욱, 엄평용, 신우식, 우상호, 제목Characteristics of double cylindrical coils as an inductively coupled plasma source 저널 , 한국화학공학회 2009년 봄 학술대회 볼륨 번호 페이지 , pp.287 -287 (Apr, 2009)
92. [학술회의] 저자 김창구, 이혜민, Dulal, 손영선, 제목Electrochemical deposition of platinum nanoparticles on graphite with Polyvinylpyrrolidone 저널 , 한국화학공학회 2009년 봄 학술대회 볼륨 번호 페이지 , pp.288 -288 (Apr, 2009)
93. [학술회의] 저자 김창구, 지정민, 조성운, 제목Characteristics of deep Si etching using the advanced Bosch process in PFC- and UFC- containing plasmas 저널 , 한국화학공학회 2009년 봄 학술대회 볼륨 번호 페이지 , pp.287 -287 (Apr, 2009)
94. [학술회의] 저자 김창구, 이혜민, Dulal, 손영선, 제목Effect of process variables on the properties of electrodeposited alkali-free CoWP films 저널 , 한국공업화학회 2009년 춘계 학술대회 볼륨 번호 페이지 , pp.111 -111 (Apr, 2009)
95. [학술회의] 저자 김창구, 이혜민, Dulal, 손영선, 제목Electrodeposition of platinum nanoparticles on carbon supports with polyvinylpyrrolidone 저널 , 한국공업화학회 2009년 춘계 학술대회 볼륨 번호 페이지 , pp.119 -119 (Apr, 2009)
96. [학술회의] 저자 김창구, 이혜민, 남궁윤미, 제목Development of an alkali-free bath for the electrodeposition of Co-W-P thin films 저널 , 한국화학공학회 2008년 가을 학술대회 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.316 -316 (Oct, 2008)
97. [학술회의] 저자 김창구, 이혜민, 남궁윤미, 제목Electrodeposition of nanostructured NiTi films 저널 , 한국화학공학회 2008년 가을 학술대회 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.334 -334 (Oct, 2008)
98. [학술회의] 저자 김창구, 지정민, 권혁규, 제목Effects of power and pressure on the optical and electrical properties of fluorocarbon films 저널 , 한국화학공학회 2008년 가을 학술대회 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.314 -314 (Oct, 2008)
99. [학술회의] 저자 김창구, 지정민, 권혁규, 제목Characteristics of fluorocarbon thin films deposited in C4F8 and C4F6 plasmas 저널 , 한국화학공학회 2008년 가을 학술대회 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.314 -314 (Oct, 2008)
100. [학술회의] 저자 김창구, 박병훈, Mahapatra, 권혁규, 제목Insulating Properties of Fluorocarbon Films Deposited in C4F8 Plasmas 저널 , 한국공업화학회 2008년 봄 학술대회 볼륨 , Vol.0 번호 , No.0 페이지 (May, 2008)
101. [학술회의] 저자 김창구, 이혜민, 남궁윤미, 제목Electroless Plating of CoWP and NiMoP Films for Capping Layers in Cu Interconnection 저널 , 한국공업화학회 2008년 봄 학술대회 볼륨 , Vol.0 번호 , No.0 페이지 (May, 2008)
102. [학술회의] 저자 김창구, 이혜민, 남궁윤미, 제목Behavior of the Potential and Current Density During Electrodeposition of CoWP Thin Films 저널 , 한국공업화학회 2008년 봄 학술대회 볼륨 , Vol.0 번호 , No.0 페이지 (May, 2008)
103. [학술회의] 저자 김창구, 박병훈, 권혁규, 제목Optimization of Deep Si Etching Using SF6/C4F8 and SF6/C4F6 Plasmas 저널 , 한국공업화학회 2008년 봄 학술대회 볼륨 , Vol.0 번호 , No.0 페이지 (May, 2008)
104. [학술회의] 저자 김창구, 박병훈, 우상호, 권혁규, 제목Deep Si Etching using SF6/C4F8 and SF6/C4F6 Plasmas 저널 , 한국화학공학회 2008년 봄 학술대회 볼륨 , Vol.0 번호 , No.0 페이지 (Apr, 2008)
105. [학술회의] 저자 김창구, Mahapatra, 남궁윤미, 제목Dependence of magnetic properties of CoWP films on the electrolyte concentration 저널 , 한국화학공학회 2008년 봄 학술대회 볼륨 , Vol.0 번호 , No.0 페이지 (Apr, 2008)
106. [학술회의] 저자 김창구, Mahapatra, 이혜민, 제목Size control of nano structured TiNi alloy by variation of the electrolyte concentration 저널 , 한국화학공학회 볼륨 , Vol.0 번호 , No.0 페이지 (Apr, 2008)
107. [학술회의] 저자 김창구, 박병훈, Mahapatra, 권혁규, 제목Electrical and Optical Properties of Fluorocarbon Films Deposited in C4F8 Plasmas 저널 , 한국화학공학회 2008년 봄 학술대회 볼륨 , Vol.0 번호 , No.0 페이지 (Apr, 2008)
108. [학술회의] 저자 김창구, 이혜민, 제목Comparison of Electrolessly Plated CoWP and NiMoP Capping Layers Using Alkali-Free Chemicals 저널 , 한국화학공학회 2008년 봄 학술대회 볼륨 , Vol.0 번호 , No.0 페이지 (Apr, 2008)
109. [학술회의] 저자 김창구, 남궁윤미, 신치범, 제목Effect of Potential and Current Density on CoWP Electrodespotion 저널 , 한국화학공학회 2008년 봄 학술대회 볼륨 , Vol.0 번호 , No.0 페이지 , pp.343 -343 (Apr, 2008)
110. [학술회의] 저자 김창구, 김일욱, 이형무, 권혁규, 우상호, 제목Investigation of Etch Characteristics of Deep Si Etching in PFC- and UFC-containing Plasmas 저널 , 한국화학공학회 2007년 가을 학술대회 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.287 -287 (Oct, 2007)
111. [학술회의] 저자 김창구, 윤형진, S.M.S.I.Dulal, 신치범, 제목Characterization of Corrosion Protective and Mechanical Properties of Electrodeposited CoWP Coatings 저널 , 한국화학공학회 2007년 가을 학술대회 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.188 -188 (Oct, 2007)
112. [학술회의] 저자 김창구, 우상호, 이형무, 최형수, 김해원, 엄평용, 이동근, 조성길, 권혁규, 김일욱, 제목Structural and Morphongical Properties of Nitrogen Doped Polysilicon 저널 , 한국화학공학회 2007년 가을 학술대회 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.282 -282 (Oct, 2007)
113. [학술회의] 저자 김창구, S.M.S.I.Dulal, 김태호, 제목Effects of pH and Temperature on Electroless Plating of CoWP Thin Films for Cu Interconnection 저널 , 한국화학공학회 2007년 가을 학술대회 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.190 -190 (Oct, 2007)
114. [학술회의] 저자 김창구, S.M.S.I. Dulal, 김태호, 제목Electroless Plating of CoWP Thin Films Using Alkali-Free Chemicals 저널 , 한국화학공학회 2007년 가을 학술대회 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.282 -282 (Oct, 2007)
115. [학술회의] 저자 김창구, S.M.S.I.Dulal, 이혜민, 남궁윤미, 윤형진, 제목Development of electrolytes for electrodeposition of NiMoP thin films 저널 , 한국화학공학회 2007년 가을학술대회 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.284 -284 (Oct, 2007)
116. [학술회의] 저자 김창구, 윤형진, S.M.S.I.Dulal, 신치범, 제목Structural and Morphological Characterization of Electrodeposited CoWP Thin Films 저널 , 한국화학공학회 2007년 가을 학술대회 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.276 -276 (Oct, 2007)
117. [학술회의] 저자 김창구, S.M.S.I.Dulal, 윤형진, 신치범, 남궁윤미, 제목Effect of Process Variables on Electrodeposition of NiMoP Films 저널 , 한국화학공학회 2007년 가을 학술대회 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.282 -282 (Oct, 2007)
118. [학술회의] 저자 김창구, 유재석, 박창한, 김현정, 제목Experimental Determination of Thermal Conductivity of Multilayered Thin Films Using Photothermal Effect 저널 , 한국화학공학회 2007년 가을 학술대회 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.267 -267 (Oct, 2007)
119. [학술회의] 저자 김창구, 윤형진, S.M.S.I.Dulal, 신치범, 제목Physical and Chemical Properties of CoWP Coatings Electrodeposited on Carbon Steel 저널 , 한국전기화학회 2007년 추계학술대회 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.104 -104 (Oct, 2007)
120. [학술회의] 저자 김창구, S.M.S.I.Dulal, 윤형진, 이혜민, 권혁규, 남궁윤미, 제목Effect of Electrolyte Concentration on Electrodeposition of NiMoP Amorphous Thin Films 저널 , 한국전기화학회 2007년 추계학술대회 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.95 -95 (Oct, 2007)
121. [학술회의] 저자 김창구, S.M.S.I.Dulal, 이형무, 김태호, 박창한, 제목Development of Electroless Plating of Capping Layers by Using Alkali-Free Chemicals 저널 , 한국전기화학회 2007년 추계학술대회 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.94 -94 (Oct, 2007)
122. [학술회의] 저자 김창구, S.M.S.I.Dulal, 윤형진, 신치범, 제목Electrodeposition of CoWP Diffusion Barrier Layer on Cu Substrate 저널 , 한국공업화학회 2007년 봄 학술대회 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.100 -100 (May, 2007)
123. [학술회의] 저자 김창구, 이형무, 제목Comparison of Etch Characteristics in Deep Si Etching Using PFC- and UFC-containing Plasmas 저널 , 한국화학공학회 2007년 봄 학술대회 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.267 -267 (Apr, 2007)
124. [학술회의] 저자 김창구, 윤형진, 김태호, 제목Electroless Plating of Capping Layers for Copper Interconnection Using Alkali Metal-Free Chemicals 저널 , 한국화학공학회 2007년 봄 학술대회 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.264 -264 (Apr, 2007)
125. [학술회의] 저자 김창구, 유재석, 박창한, 김현정, 제목The Measurement of Thermal Properties for Thin Films Using Photothermal Effect 저널 , 한국화학공학회 2007년 봄 학술대회 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.252 -252 (Apr, 2007)
126. [학술회의] 저자 김창구, 남궁윤미, 제목Electrodeposition of CoWB Films for Capping Layers in Cu Interconnections 저널 , 한국화학공학회 2007년 봄 학술대회 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.269 -269 (Apr, 2007)
127. [학술회의] 저자 김창구, S.M.S.I.Dulal, 윤형진, 신치범, 제목Electrodeposition of CoWP Thin Films on Copper Line on p-type Silicon Wafer 저널 , 한국화학공학회 2007년 봄 학술대회 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.263 -263 (Apr, 2007)
128. [학술회의] 저자 김창구, K.Nadiia, 강진영, 함승주, 오윤진, 정명기, 정찬화, 이형무, 백승준, 제목Separation of Nanoparticles in Nanochannels Using Electro-osmotic Force 저널 , 한국화학공학회 2007년 봄 학술대회 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.148 -148 (Apr, 2007)
129. [학술회의] 저자 김창구, S.M.S.I.Dulal, 윤형진, 신치범, 제목Effect of Process Variables on the Properties of Electrodeposited CoWP Films 저널 , 한국화학공학회 2007년 봄 학술대회 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.271 -271 (Apr, 2007)
130. [학술회의] 저자 김창구, 이형무, 권혁규, 제목Characteristics of Polymer Films Deposited in PFC- and UFC-containing Plasmas During the Bosch Process 저널 , 한국화학공학회 2007년 봄 학술대회 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.273 -273 (Apr, 2007)
131. [학술회의] 저자 김창구, S.M.S.I.Dulal, 윤형진, 신치범, 제목Electrochemical Deposition of Platinum Nanoparticles on Carbon Supports 저널 , 한국화학공학회 2007년 봄 학술대회 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.282 -282 (Apr, 2007)
132. [학술회의] 저자 김창구, S.M.S.I.Dulal, 윤형진, 신치범, 제목Electrodeposition of CoWP Diffusion Barrier Layer on Copper Interconnection Line 저널 , 한국전기화학회 2007년 춘계 학술발표회 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.145 -145 (Apr, 2007)
133. [학술회의] 저자 김창구, 이형무, 박창한, 제목A Comparative Study on Deep Si Etching Using PFC- and UFC-Containing Plasmas 저널 , 한국공업화학회 2006년 가을 학술대회 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.x -x (Nov, 2006)
134. [학술회의] 저자 김창구, 윤형진, 김태호, 제목Electroless Plating of Co-Alloy Capping Layers for Copper Interconnection 저널 , 한국공업화학회 2006년 가을 학술대회 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.x -x (Nov, 2006)
135. [학술회의] 저자 김창구, 윤형진, 김태호, 제목Electrolyte Development for Electroless Plating of Cladding Layers in Cu Interconnection 저널 , 한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.x -x (Oct, 2006)
136. [학술회의] 저자 김창구, 이형무, 박창한, 제목Environment-Friendly Plasma Etching of High Aspect Ratio Deep Si 저널 , 한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.x -x (Oct, 2006)
137. [학술회의] 저자 김창구, 이형무, 박창한, 윤형진, 신치범, 김태호, 제목Effects of the ion mass and the ion incident angle on etch rates in atomic scale etching 저널 , 한국화학공학회 2006년 봄 학술대회 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.x -x (Apr, 2006)
138. [학술회의] 저자 김창구, 김일욱, 류현규, 신치범, 제목Plasma Etching of Silicon Dioxide Contact Hole Using Low Global Warming Potential Gases 저널 , 한국에너지기후변화학회 2005년 추계학술대회 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.110 -114 (Dec, 2005)
139. [학술회의] 저자 김창구, 윤형진, 민재호, 김태호, 신치범, 문상흡, 제목Atomic Scale Etching of Poly-Si in Inductively Coupled Ar and He Plasmas 저널 , 한국화학공학회 2005년도 가을 학술대회 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.x -x (Oct, 2005)
140. [학술회의] 저자 신치범, 정승면, 김성태, 김창구, 이대훈, 제목차량용 12-V 납축전지의 동적 거동 모델링 저널 , 한국화학공학회 봄학술대회 볼륨 , Vol.x 번호 , No.x 페이지 , pp.x -x (Apr, 2005)
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142. [학술회의] 저자 김창구, 류현규, 김일욱, 신치범, 정희석, 제목Etching of a 170 nm-diameter SiO2 Contact Hole in C4F6/O2/Ar Plasmas 저널 , 2nd Symposium for Nano-Chemical Processing 볼륨 번호 페이지 , pp.45 (Jun, 2004)
143. [학술회의] 저자 신치범, 이백행, 김병우, 김성민, 김창구, 이대훈, 제목차량용 42V 전기공급 시스템을 위한 ultracapacitor의 열적 특성을 위한 모델링 저널 , 한국화학공학회 2004년도 봄학술대회 볼륨 번호 페이지 , pp.153 (Apr, 2004)
144. [학술회의] 저자 김창구, 고은용, 정희석, 신치범, 제목Silicon Surface Smoothing by Argon Cluster Impact 저널 , 한국화학공학회 2003년도 가을학술대회 볼륨 번호 페이지 , pp.203 -203 (Oct, 2003)
145. [학술회의] 저자 김창구, 제목Interaction of a Plasma with Surface Topography 저널 , 2002 Fall Meeting 볼륨 , Vol.8 번호 , No.2 페이지 , pp.4866 -4869 (Oct, 2002)
146. [학술회의] 저자 김창구, 제목Energy and Angular Distributions of Ions Extracted from a Hole in Contact with a High Density Plasma 저널 , 제1회 나노화학공정 심포지움 및 제4회 CVD 심포지움 볼륨 , Vol.1 번호 , No.1 페이지 , pp.22 -25 (Jun, 2002)

1. [특허] 저자 김창구, 이유종, 유상현, 헵타플루오로프로필 메틸 에테르와 헵타플루오로이소프로필 메틸 에테르를 이용한 플라즈마 식각 방법 출원등록구분(출원 or 등록 ) (출원) 번호(출원번호 or 등록번호) (10-2022-0184992) 출원국 (Dec, 2022)
2. [특허] 저자 김창구, 이유종, 유상현, 플라즈마 식각 방법 출원등록구분(출원 or 등록 ) (출원) 번호(출원번호 or 등록번호) (10-2022-0176251) 출원국 (Dec, 2022)
3. [특허] 저자 김창구, 김준현, 퍼플루오로프로필카비놀(Perfluoropropyl carbinol)을 이용한 플라즈마 식각 방법 출원등록구분(출원 or 등록 ) (출원) 번호(출원번호 or 등록번호) (17/923,495) 출원국 (R0420US) (Nov, 2022)
4. [특허] 저자 김창구, 김준현, 펜타플루오로프로판올(pentafluoropropanol)을 이용한 플라즈마 식각 방법 출원등록구분(출원 or 등록 ) (출원) 번호(출원번호 or 등록번호) (17/923,123) 출원국 (R0420US) (Nov, 2022)
5. [특허] 저자 김창구, 김준현, 펜타플루오로프로판올(pentafluoropropanol)을 이용한 플라즈마 식각 방법 출원등록구분(출원 or 등록 ) (등록) 번호(출원번호 or 등록번호) (10-2461689) 출원국 (Oct, 2022)
6. [특허] 저자 김창구, 김준현, PIPVE(perfluoroisopropyl vinyl ether)를 이용한 플라즈마 식각 방법 출원등록구분(출원 or 등록 ) (출원) 번호(출원번호 or 등록번호) (17/917,155) 출원국 (R0420US) (Oct, 2022)
7. [특허] 저자 김창구, 김준현, 유상현, 플라즈마 식각 방법 출원등록구분(출원 or 등록 ) (등록) 번호(출원번호 or 등록번호) (10-2441772) 출원국 (Sep, 2022)
8. [특허] 저자 김창구, 이유종, 유상현, Heptafluoropropyl methyl ether를 이용한 비등방성 SiO2 contact hole 식각프로파일 구현 출원등록구분(출원 or 등록 ) (출원) 번호(출원번호 or 등록번호) (10-2022-0098133) 출원국 (Aug, 2022)
9. [특허] 저자 김창구, 유상현, 김준현, 구리 복합 구조체의 제조방법 및 이에 의해 제조된 구리 복합 구조체를 포함하는 에너지 저장 장치 및 라만 분광 기판 구조물 출원등록구분(출원 or 등록 ) (등록) 번호(출원번호 or 등록번호) (10-2411717) 출원국 (Jun, 2022)
10. [특허] 저자 김창구, 김준현, PIPVE(perfluoroisopropyl vinyl ether)를 이용한 플라즈마 식각 방법 출원등록구분(출원 or 등록 ) (등록) 번호(출원번호 or 등록번호) (10-2389081) 출원국 (Apr, 2022)
11. [특허] 저자 김창구, 김준현, 퍼플루오로프로필카비놀(Perfluoropropyl carbinol)을 이용한 플라즈마 식각 방법 출원등록구분(출원 or 등록 ) (등록) 번호(출원번호 or 등록번호) (10-2388963) 출원국 (Apr, 2022)
12. [특허] 저자 김창구, 김준현, 저반사 구조물과 이의 제조방법, 이를 포함하는 태양전지 및 광학 필름 출원등록구분(출원 or 등록 ) (등록) 번호(출원번호 or 등록번호) (11,300,711) 출원국 (R0420US) (Apr, 2022)
13. [특허] 저자 김창구, 박진수, 김준현, 플라즈마 식각 방법 출원등록구분(출원 or 등록 ) (출원) 번호(출원번호 or 등록번호) (17/760,519) 출원국 (R0420US) (Mar, 2022)
14. [특허] 저자 김창구, 김준현, 저반사 구조물과 이의 제조방법, 이를 포함하는 태양전지 및 광학 필름 출원등록구분(출원 or 등록 ) (출원) 번호(출원번호 or 등록번호) (17/691,566) 출원국 (R0420US) (Mar, 2022)
15. [특허] 저자 김창구, 유상현, 김준현, 구리 복합 구조체의 제조방법 및 이에 의해 제조된 구리 복합 구조체를 포함하는 에너지 저장 장치 및 라만 분광 기판 구조물 출원등록구분(출원 or 등록 ) (출원) 번호(출원번호 or 등록번호) (PCT/KR2022/003241) 출원국 (Mar, 2022)
16. [특허] 저자 김창구, 박진수, 김준현, 플라즈마 식각 방법 출원등록구분(출원 or 등록 ) (출원) 번호(출원번호 or 등록번호) (17/623,804) 출원국 (R0420US) (Dec, 2021)
17. [특허] 저자 김창구, 박진수, 김준현, 플라즈마 식각 방법 출원등록구분(출원 or 등록 ) (등록) 번호(출원번호 or 등록번호) (10-2328590) 출원국 (Nov, 2021)
18. [특허] 저자 김창구, 박진수, 김준현, 플라즈마 식각 방법 출원등록구분(출원 or 등록 ) (등록) 번호(출원번호 or 등록번호) (10-2327416) 출원국 (Nov, 2021)
19. [특허] 저자 김창구, 박진수, 김준현, 플라즈마 식각 방법 출원등록구분(출원 or 등록 ) (등록) 번호(출원번호 or 등록번호) (11,081,361) 출원국 (R0420US) (Aug, 2021)
20. [특허] 저자 김창구, 유상현, 김준현, 플라즈마 식각 방법 출원등록구분(출원 or 등록 ) (출원) 번호(출원번호 or 등록번호) (PCT/KR2021/009755) 출원국 (Jul, 2021)
21. [특허] 저자 김창구, 강두원, 이혜민, 김현창, 서지 흡수 장치의 제조방법 출원등록구분(출원 or 등록 ) (등록) 번호(출원번호 or 등록번호) (11,005,235) 출원국 (R0420US) (May, 2021)
22. [특허] 저자 김창구, 강두원, 이혜민, 김현창, 서지 흡수 장치의 제조방법 출원등록구분(출원 or 등록 ) (출원) 번호(출원번호 or 등록번호) (17/223,381) 출원국 (R0420US) (Apr, 2021)
23. [특허] 저자 김창구, 김준현, 퍼플루오로프로필카비놀(Perfluoropropyl carbinol)을 이용한 플라즈마 식각 방법 출원등록구분(출원 or 등록 ) (출원) 번호(출원번호 or 등록번호) (PCT/KR2021/002532) 출원국 (Mar, 2021)
24. [특허] 저자 김창구, 김준현, 펜타플루오로프로판올(pentafluoropropanol)을 이용한 플라즈마 식각 방법 출원등록구분(출원 or 등록 ) (출원) 번호(출원번호 or 등록번호) (PCT/KR2021/002530) 출원국 (Mar, 2021)
25. [특허] 저자 김창구, 김준현, PIPVE(perfluoroisopropyl vinyl ether)를 이용한 플라즈마 식각 방법 출원등록구분(출원 or 등록 ) (출원) 번호(출원번호 or 등록번호) (PCT/KR2021/002053) 출원국 (Feb, 2021)
26. [특허] 저자 김창구, 박진수, 김준현, 플라즈마 식각 방법 출원등록구분(출원 or 등록 ) (등록) 번호(출원번호 or 등록번호) (10-2196809) 출원국 (Dec, 2020)
27. [특허] 저자 김창구, 박진수, 김준현, 플라즈마 식각 방법 출원등록구분(출원 or 등록 ) (등록) 번호(출원번호 or 등록번호) (10,865,343) 출원국 (R0420US) (Dec, 2020)
28. [특허] 저자 김창구, 김준현, 저반사 구조물과 이의 제조방법, 이를 포함하는 태양전지 및 광학 필름 출원등록구분(출원 or 등록 ) (등록) 번호(출원번호 or 등록번호) (10,690,811) 출원국 (R0420US) (Jun, 2020)
29. [특허] 저자 김창구, 김준현, 박진수, 플라즈마 식각 방법 출원등록구분(출원 or 등록 ) (출원) 번호(출원번호 or 등록번호) (PCT/KR2020/007073) 출원국 (Jun, 2020)
30. [특허] 저자 김창구, 김준현, 박진수, 플라즈마 식각 방법 출원등록구분(출원 or 등록 ) (출원) 번호(출원번호 or 등록번호) (PCT/KR2020/007074) 출원국 (Jun, 2020)
31. [특허] 저자 김창구, 박진수, 김준현, 플라즈마 식각 방법 출원등록구분(출원 or 등록 ) (등록) 번호(출원번호 or 등록번호) (10-2104240) 출원국 (Apr, 2020)
32. [특허] 저자 김창구, 박창진, 김준현, 유전체 장벽 방전 시스템 출원등록구분(출원 or 등록 ) (출원) 번호(출원번호 or 등록번호) (PCT/KR2019/005871) 출원국 (May, 2019)
33. [특허] 저자 김창구, 박창진, 이혜민, 플렉시블 전극 제조방법 출원등록구분(출원 or 등록 ) (등록) 번호(출원번호 or 등록번호) (10,199,226) 출원국 (R0420US) (Feb, 2019)
34. [특허] 저자 김창구, 김준현, 저반사 구조물과 이의 제조방법, 이를 포함하는 태양전지 및 광학 필름 출원등록구분(출원 or 등록 ) (등록) 번호(출원번호 or 등록번호) (10-1930640) 출원국 (Dec, 2018)
35. [특허] 저자 김창구, 김현창, 강두원, 이혜민, 서지 흡수 장치 및 이의 제조방법 출원등록구분(출원 or 등록 ) (등록) 번호(출원번호 or 등록번호) (10-1924261) 출원국 (Nov, 2018)
36. [특허] 저자 김창구, 김준현, 김가연, 박창진, 유전체 장벽 방전 시스템 출원등록구분(출원 or 등록 ) (출원) 번호(출원번호 or 등록번호) (10-2018-0093899) 출원국 (Aug, 2018)
37. [특허] 저자 박정근, 박창진, 김준현, 김창구, 니켈계 금속 포일의 비저항 조절 방법 출원등록구분(출원 or 등록 ) (등록) 번호(출원번호 or 등록번호) (10-1886963) 출원국 (Aug, 2018)
38. [특허] 저자 김창구, 이혜민, 박창진, 플렉시블 전극 제조방법 출원등록구분(출원 or 등록 ) (등록) 번호(출원번호 or 등록번호) (10-1819825) 출원국 (Jan, 2018)
39. [특허] 저자 이혜민, 김창구, 서지 흡수 장치의 제조방법 출원등록구분(출원 or 등록 ) (등록) 번호(출원번호 or 등록번호) (10-1812752) 출원국 (Dec, 2017)
40. [특허] 저자 김창구, 김준현, 조성운, 초소수성 표면 형성 방법 출원등록구분(출원 or 등록 ) (출원) 번호(출원번호 or 등록번호) (15/580,370) 출원국 (R0420US) (Dec, 2017)
41. [특허] 저자 김창구, 김준현, 조성운, 플라즈마 가스를 사용한 실리콘 기판 식각방법 출원등록구분(출원 or 등록 ) (출원) 번호(출원번호 or 등록번호) (15/529,298) 출원국 (R0420US) (May, 2017)
42. [특허] 저자 김준현, 박정근, 김창구, 이중구조 산화주석 박막 및 이의 제조 방법 출원등록구분(출원 or 등록 ) (등록) 번호(출원번호 or 등록번호) (10-1735999) 출원국 (May, 2017)
43. [특허] 저자 이혜민, 김상욱, 정경화, 김창구, 전이금속 질화물 포함 전극재료의 제조방법 및 이에 의해 제조된 전극재료를 활물질로 포함하는 전기화학 장치 출원등록구분(출원 or 등록 ) (등록) 번호(출원번호 or 등록번호) (10-1733912) 출원국 (Apr, 2017)
44. [특허] 저자 김창구, 조성운, 경사 형태의 구리 나노 로드 제작방법 출원등록구분(출원 or 등록 ) (등록) 번호(출원번호 or 등록번호) (9,493,345) 출원국 (R0420US) (Nov, 2016)
45. [특허] 저자 김창구, 김현창, 강두원, 이혜민, 서지 흡수 장치의 제조방법 출원등록구분(출원 or 등록 ) (출원) 번호(출원번호 or 등록번호) (PCT/KR2016/008795) 출원국 (Aug, 2016)
46. [특허] 저자 김창구, 김준현, 박정근, 조성운, 초소수성 표면 형성 방법 출원등록구분(출원 or 등록 ) (출원) 번호(출원번호 or 등록번호) (PCT/KR2016/006004) 출원국 (Jun, 2016)
47. [특허] 저자 김창구, 김준현, 조성운, 플라즈마 가스를 사용한 실리콘 기판 식각방법 출원등록구분(출원 or 등록 ) (등록) 번호(출원번호 or 등록번호) (10-1623654) 출원국 (May, 2016)
48. [특허] 저자 김창구, 김준현, 옥승수, 조성운, 초소수성 표면 형성 방법 출원등록구분(출원 or 등록 ) (등록) 번호(출원번호 or 등록번호) (10-1620786) 출원국 (May, 2016)
49. [특허] 저자 이혜민, 김상욱, 이희웅, 김창구, 정경화, 2차원 템플레이트, 이의 제조 방법, 다공성 나노 시트, 이의 제조 방법 및 전극 구조체 출원등록구분(출원 or 등록 ) (등록) 번호(출원번호 or 등록번호) (10-1601454) 출원국 (Mar, 2016)
50. [특허] 저자 김창구, 권범진, 강흥중, 이혜민, 송찬주, 다성분계 금속 산화물을 포함하는 전극물질이 전착된 슈퍼커패시터용 전극 및 이의 제조방법 출원등록구분(출원 or 등록 ) (등록) 번호(출원번호 or 등록번호) (10-1573780) 출원국 (Nov, 2015)
51. [특허] 저자 김창구, 김준현, 조성운, 플라즈마 가스를 사용한 실리콘 기판 식각방법 출원등록구분(출원 or 등록 ) (출원) 번호(출원번호 or 등록번호) (PCT/KR2015/012037) 출원국 (Nov, 2015)
52. [특허] 저자 김창구, 백창용, 강두원, 김현창, 조성운, 김준현, 세라믹 기판 상에 산화주석 박막을 형성하는 방법 출원등록구분(출원 or 등록 ) (등록) 번호(출원번호 or 등록번호) (10-1562134) 출원국 (Oct, 2015)
53. [특허] 저자 김창구, 조성운, 3차원 형태의 구리 나노구조물 및 그 형성 방법 출원등록구분(출원 or 등록 ) (등록) 번호(출원번호 or 등록번호) (9,139,914) 출원국 (R0420US) (Sep, 2015)
54. [특허] 저자 김창구, 강두원, 안규진, 진상준, 김준현, 이경미, 백창용, 우창수, 강태헌, 조성운, 정종일, 김현창, 서지흡수기 제조방법 출원등록구분(출원 or 등록 ) (등록) 번호(출원번호 or 등록번호) (I 496371) 출원국 (R0420TW) (Aug, 2015)
55. [특허] 저자 김창구, 조성운, 플라즈마 식각을 이용한 원뿔형 나노 구조물 형성 방법 및 원뿔형 나노 구조물 출원등록구분(출원 or 등록 ) (등록) 번호(출원번호 or 등록번호) (10-1539172) 출원국 (Jul, 2015)
56. [특허] 저자 김창구, 조성운, 플라즈마 식각을 이용한 경사형태의 나노기둥 제작방법 출원등록구분(출원 or 등록 ) (등록) 번호(출원번호 or 등록번호) (10-1533526) 출원국 (Jun, 2015)
57. [특허] 저자 김창구, 조성운, 3차원 형태의 구리 나노구조물 및 그 형성 방법 출원등록구분(출원 or 등록 ) (등록) 번호(출원번호 or 등록번호) (10-1509529) 출원국 (Apr, 2015)
58. [특허] 저자 김창구, 김준현, 정종일, 강두원, 강태헌, 진상준, 김현창, 이경미, 백창용, 우창수, 조성운, 안규진, 서지흡수기 제조방법 출원등록구분(출원 or 등록 ) (등록) 번호(출원번호 or 등록번호) (10-1501338) 출원국 (Mar, 2015)
59. [특허] 저자 김창구, 정경화, 이혜민, 김상욱, 금속산화물-그래핀 나노복합체의 제조방법 및 금속산화물-그래핀 나노복합체를 이용한 전극 제조방법 출원등록구분(출원 or 등록 ) (등록) 번호(출원번호 or 등록번호) (10-1466310) 출원국 (Nov, 2014)
60. [특허] 저자 김창구, 권범진, 송찬주, 이혜민, 안영수, 슈퍼커패시터용 전극 및 이의 제조방법 출원등록구분(출원 or 등록 ) (등록) 번호(출원번호 or 등록번호) (10-1424680) 출원국 (Jul, 2014)
61. [특허] 저자 김창구, 조성운, 경사형태의 구리 나노로드 제작 방법 출원등록구분(출원 or 등록 ) (등록) 번호(출원번호 or 등록번호) (10-1409387) 출원국 (Jun, 2014)
62. [특허] 저자 김창구, 권범진, 송찬주, 이혜민, 안영수, 그라파이트에 금속 산화물이 전착된 슈퍼커패시터 전극의 제조방법 및 이를 이용한 슈퍼커패시터 출원등록구분(출원 or 등록 ) (등록) 번호(출원번호 or 등록번호) (10-1391136) 출원국 (Apr, 2014)
63. [특허] 저자 김창구, 조성운, 반도체 장치의 콘택홀 형성방법 출원등록구분(출원 or 등록 ) (등록) 번호(출원번호 or 등록번호) (10-1263666) 출원국 (May, 2013)